光纤陀螺-光电子技术在光纤传感器中应用的典范.txtl9 “明”可理解成两个月亮坐在天空， 相互关怀，相互照亮，缺一不可，那源源不断的光芒是连接彼此的纽带和桥梁！人间的长旅 充满了多少凄冷 孤苦，没有朋友的人是生活的黑暗中的人，没有朋友的人是真正的孤儿本文由 yzq3105 贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看光电通讯网丰富的开发资源，丰富的技术交流，硬件设计者的网上家 园光纤陀螺－光电子技术在光纤传感器中应用的典范汪绳武（上海永鼎光电子技术有限公司） 中国惯性学会光电通讯网整理光电通讯网 丰富的开发资源 丰富的技术交流 硬件设计者的网上家园2004-07-05光电通讯网 丰富的开发资源，丰富的技术交流，硬件设计者的网上家 园摘要 光纤陀螺是属于惯性技术范畴的一种惯性仪表光纤陀螺也是 光电子技术范畴的 一种光传感器，光纤陀螺是惯性技术与光电子技术 紧密结合的产物但实际上，惯性技术与 光电子技术在光纤螺上的紧 密切合还是不足的，光电子技术的发展还没有充分注意到光纤传 感器， 特别是光纤陀螺的潜在市场 本文通过对光纤陀螺和与其相关的光电子器件的介绍， 希望两个技 术方面要在过去已有的基础上，更进一步互相渗透，使光纤陀螺市场 早日形成。
1． 1． 概述 陀螺仪的应用在我们周围无处不存在，例如，在国防领域中导弹的精确制导、 潜艇长期 潜伏在水下的精确导航、 行进中的坦克保持火炮和瞄准系统的稳定等都离不开陀 螺仪 在国 民经济领域中，工程测量的精确定位、石油钻探的精确定向、机器人动作精确 控制等也要靠 陀螺仪即使在日常生活中，人们在不知不觉中也已经或将得益于陀螺仪比 如飞机在飞行 中使旅客感到十分平稳和舒适是得益于陀螺仪构成的航向姿态参考系统 随 着列车提速， 消 除车厢摆动尤其高速转弯时的摆动，就要借助于陀螺仪还有，汽车行驶 中的定位和导向，在目前主要靠GPS，但GPS的使用存在着被动性的缺点，当GPS与陀螺 组合在一起时，才使 汽车导向和自动驾驶真正具备了主动性 陀螺仪的应用十分广泛， 以 上的例子只是极少的一 部分 以上列举的应用是通过陀螺仪和伺服控制系统共同实现的， 而陀螺仪在其中充当了一 个十分重要的、不可缺少的角色 陀螺仪的种类很多，包括机电 的、激光的、光纤的、压电的和微机械的等等各种陀螺仪都具有自身的优点但到目前为 止，在众多类型的陀螺中，光纤陀螺更受到各种应用的 关注 光纤陀螺本质上是由光电子 器件组成的光干涉仪系统，没有任何活动部件，这就决定 了光纤陀螺具有一系列独特的优点： 不怕冲击振动，可以在恶劣的力学环境下应用；对角速 率的反应极快；角速率测量灵敏度高； 测量速率范围高达 ；潜在的成本低；加工简单。
这些优点是其它陀螺不能比拟的 国内外十分重视光纤陀螺的发展和应用，但目前国内 发展速度跟不上需求，至今尚未 生产和达到应用 主要问题是总体技术未达到应用的要求， 而与光纤陀螺相关的光电子器件 在技术和数量上又满足不了陀螺总体的设计要求 通信光 电子器件产业在国内已经有相当的规模，但主要市场的还是针对光通信行业， 对光电子器件 的另一个应用市场，即光纤陀螺和光纤传感器，还未被受到足够的重视研究 其原因，从商 业角度考虑，是因为光纤陀螺市场尚未形成，不能成为推动光纤陀螺专用的光 电子器件发展 的动力 另一方面也反映了光电子产业发展中的局限性， 多多少少地影响了光 纤陀螺市场 的早日形成 所幸的是现在已经有一些企业家看到了以上问题及市场前景，重视特殊的光电 子器件 的发展，并已经开始组织力量研发光纤传感器用的光电子器件 本着推进与光纤传 感器相关的光电子产业发展，下面对光纤陀螺与光电子器件的一些 相关技术作一些综合性的 叙述光电通讯网 丰富的开发资源，丰富的技术交流，硬件设计者的网上家 园2． 2． 光纤陀螺 光纤陀螺由两部分组成：光学部分和信号处理电路部分 光学部分 包含光电子器件和光纤器件。
有时这两种器件都被纳入光电子技术按照光纤陀螺光学系统 的构成， 目前进入实用的光纤陀螺主要有两类： 全光纤陀螺和使 用了集成光学器件的“集 成光学器件光纤陀螺” 全光纤陀螺可采用开环或闭环的信号处理电路这种陀螺的成本 较低， 但实现高精度的 技术难度较大，因此大多用于精度要求不高和低成本的场合 集成 光器件光纤陀螺由于波导相位调制器的调制带宽可高达几个 GHz， 在信号处理中可 以采用 数字闭环技术，易于实现高精度和高稳定性，是目前最常用的光纤陀螺构成模式图1全光纤陀螺示意图图2 集成光器件光纤陀螺示意图 为了进一步提高陀螺的长期稳定性，一种 EDFA 光纤陀螺已经进入实用 图3EDFA 光纤陀螺原理图光电通讯网 丰富的开发资源，丰富的技术交流，硬件设计者的网上家 园因为在光纤陀螺的干涉系统中，由角速率 长有关: 引起的相位移(SAGNAC 相移)与波 因此，在高精度、高稳定性光纤陀螺中，光源的功率和波长稳定性显得尤为重要，而使 用 EDFA 取代 SLD 是一个有效的解决方案 光纤陀螺在实际应用中大多数是以所谓的 INU(惯性测量组合)的方式出现，由于光纤陀螺对角速率的敏感轴是单轴的，所以在一个 三维INU中至少需要敏感轴互为正交的三只光纤陀螺。
为了降低成本，通常通过1X3或1 X4的光纤耦合器，使三只或四只光纤陀螺共用一只光源，以降低系统成本为了控制光 纤陀螺中由于偏振不稳定所造成的漂移， 往往使用保偏光纤及保偏器件 使 用保偏光纤及 保偏器件后，陀螺性能提高了，但陀螺的成本也跟着上升 通过采用消偏技术，可以用单模 光纤制造低精度或中低精度的低成本光纤陀螺 光纤陀螺涉及到的技术问题很多，从以上简 单介绍中可以知道，光纤陀螺的研究、制造 和发展都与光电子技术紧密联系可以罗列出与 光纤陀螺相关的光电子器件的项目有：光纤：有源器件：光耦合器件：光集成器件：EDFA: 消偏： 偏振控制： 光波导器件： 单模光纤、保偏光纤、细经光纤、匹配型保偏光纤； 超 辐射二极管(SLD)；低噪声PIN、宽带PIN-FET；保偏光纤耦合器、1X3(1X4)光纤耦合器、 小型化耦合器； 多功能集成光器件； 泵浦光源、掺饵光纤、光纤光栅、隔离器；光纤消偏 器； 微小型光纤偏振控制器； 波导型无源器件、波导敏感环路；下面对光纤陀螺相关的光电子器件的特殊性作概要说明 3． 3．光纤陀螺中的光电子 与光纤器件 3．1 偏振保持光纤 细经光纤 匹配型保偏光纤 光纤陀螺敏感线圈中的光纤长度 需要几百米至一公里， 用通常的单模光纤制造光纤环圈 是不合适的。
众所周知两束具有相 同的波长，相同的偏振态，相同的光强度，并且处于相干 长度内的光会产生最佳相干度的稳 定的光干涉 但是当光传输经过单模光纤时， 由于单模光 纤的非均匀性， 输入的线偏振 光将分解为分量的方式传播， 并且材料的非均匀性和受环境影 响， 使分量的大小和传播速 度沿着转播空间不规则变化， 这种所谓的相位滞后使偏振态椭园 化， 具有了空间和时间的 不确定性 具有不确定性偏振态的两束光在经过捡偏器后的相干光 强度将会随时间涨落 在干涉型光纤陀螺中， 对角速率的度量是通过对相干光强的测量而实 现的因此用单模光 纤制造的陀螺是不稳定的偏振保持光纤是通过在光纤中增加应力区，使光纤内具有确定的 应力分布的单模光纤这种应力分布应远大于外界影响，这样， 当平面偏振光的振动方向 与保偏光纤的光轴一致时， 光将沿着这个方向一直传播下去，保持了偏振相干的稳定性对 于高精度光纤陀螺，必须用 高质量的保偏光纤制造敏感环圈 光纤陀螺对角速率的灵敏度 与光纤环圈中的光纤长度成比例，为了使光纤陀螺小型化， 光纤陀螺必然会使用 0.08mm 左 右的细经保偏光纤细经保偏光纤是保偏光纤发展的方向光电通讯网 丰富的开发资源，丰富的技术交流，硬件设计者的网上家 园在保偏的光学系统中，光纤耦合器也必须是保偏的。
为了制造保偏耦合器，还需要有匹 配 型保偏光纤和专用的制造设备 3．2 超辐射二极管 高灵敏度宽带 PIN-FET 当光在几百米 长的光纤中传输时， 瑞利散射对陀螺的影响是必须考虑的背向的瑞利散 射与该方向上的 传输光产生的相干光强度会干扰陀螺的正常输出，形成瑞利噪声 在光纤陀 螺中瑞利散射 与传输光之间的相位差不是定值，而是随光纤不同的位置而变化， 但绝大部分 的相位差或 者说光程差都大于 SAGNAC 相移，显然，只要使用短相干长度的光源就可以去除 大部分的瑞 利噪声，提高陀螺性能为了达到以上目的，同时考虑到光功率的需要，在光纤 陀螺中使用 了宽带光源超辐射二极管(SLD),这种半导体二极管介于LD和LED之间，譜宽在30nm以 上，发光效率应不低于150mW / 100“A (出纤)超辐射二极管在光纤陀螺中占有很重 要的地位， 除了上面提到的要求外， 还有工程上的 一些特殊要求 但是目前就超辐射二 极管进行针对性的结构和工艺研究甚少， 器件研发和陀 螺应用之间还未形成良性循环，这 种状态是急待改善的有源器件中还有一项重要器件是高灵敏度宽带PIN-FET高灵敏度与 宽带是矛盾的，造 成了这种器件研发的难度。
3．3 特种耦合器 在光纤陀螺中使用的耦合 器是特种耦合器主要有三类：保偏耦合器、1X3 (1X4)耦 合器、特殊波长耦合器保 偏耦合器的基本原理与标准耦合器相似，但是制造保偏光纤耦合器的设备是专用的， 还要配 合一系列专用技术，其中包括光纤平行熔融拉锥、光轴调节与测定、熔融拉锥工艺过 程中的 保持光轴稳定、器件封装等此外对于保偏光纤也有特殊要求，专用的光纤必须具是 折射率 匹配型保偏光纤1X3 (1X4)耦合器也要符合保偏器件的要求光纤陀螺中的特殊波长 耦合器用于自发辐射型的掺饵光纤光源，和 EDFA 中的耦合器相 同 为了降低克尔效应的 影响，用于高精度光纤陀螺中的耦合器对分束比有较高的要求， 3． 3． 4 多功能集成光器 件 光纤陀螺中使用的多功能集成光器件的主要功能包含偏振、相位调制和光分路 替代用 于全光纤陀螺中的偏振器、相位调制器和耦合器 制造集成光学器件的衬底材料可以有多种 选择，如III-V属半导体、在硅材料上制备的二氧化硅、玻璃等但对于光纤陀螺来说，最 好的选择还是铌酸锂材料(lithiumniobate LiNbO )，这是因为这种材料具有很好的电光 性能，当通过电极对波导施加电场时，波 导的折射率将发生相应的变化， 并使光波产生相 移， 这种相位调制性能对于干涉型光纤陀螺 来说是十分必要的。
调制器上的电极是通过第 二次蚀刻工艺将金属制作在波导两侧在衬底上紧挨着的电极电容大约为10pF,对50负 载阻抗的调制带宽为300MHz，对于光纤陀螺来说，这样的带宽已经够用了在这样带宽范围 内, 调制器的响应是平坦的, 使集成光学相位调制器在光纤陀螺 中成为一种理想的器件 LiNb0集成光学波导通常是用鈦(Ti)扩散技术制造的为了获得最佳效率，必需将晶体加 工成X-切向(X轴与衬底面垂直)、Y-向传播的波导(即波导与Y轴平行)于是，与Z轴平光电通讯网 丰富的开发资源，丰富的技术交流，硬件设计者的网上家 园行的，即 TE 模能受平行于波导的金属电极有效调制在集成光器件中将波导设计成 Y 型，并在单 Y 型波导的分路上分别做上电极，使得 Y 型 波导既是相位调制器又相当于全光纤陀螺中的光纤分路器 钛扩散波导的缺点是，在钛 扩散加温时会发生衬底表面 外扩散的问题从而产生一 个非常偏振光的寄生平面波导（即 X —切的TE模），这种寄生的平面波导会在正常扩散的波导间产生光的泄漏或波导间的串音 质子交换是解决钛扩散波导缺点的有效方法质子交换是在较低的温度下（约200— 300D 进行的，这样就避免了高温下外扩散的问题，但是低温交换会使器件的长期稳定性 差。
使 用退火技术能使寿命明显提高， 现在的质子交换对光纤陀螺来说已成为一种很好的选 择， 因为， 通过质子交换技术可获得波导的高偏振度， 而高偏振度是高精度陀螺的必要条件 EDFA 在光通信领域中 EDFA 用于特定波长下的光信号放大，这种放大器被称之为掺饵光纤 放大器 用泵浦光源激励掺饵光纤并使其工作在自发辐射状态，此时掺饵光纤的输出是波长 与 光功率稳定的宽带光源，这种光源的出纤光功率大，使得增加光纤环圈中的光纤长度成 为可 能，从而实现光纤陀螺的高灵敏度还有一个突出优点是光纤光源的波长稳定，改善了 光纤 陀螺由波长漂移所造成的不稳定性 EDFA 用于光纤陀螺需要做许多改进，包括适用于 陀螺仪使用的，与小型化相关的一系 列工艺和技术的改进 用掺饵光纤光源的光纤陀螺在 国外已经实用化，这种高精度陀螺已被用于舰船的导航 系统 3. 6 光纤消偏器 光纤陀螺 的发展，一方面向高精度，另一方面是向着低成本尤其中低精度的光纤陀 螺有着庞大的应 用市场，如若成本过高，则将失去竞争优势降低成本的因素是多方面的， 但就陀螺自身而 言，消偏陀螺是有效的途径 在前面我们已经介绍，在光纤陀螺中的偏振噪声是由于线偏振 光传输通过单模光纤时 变成不稳定的椭园偏振光所引起的。
当以顺时针方向和以逆时针方 向的椭圆偏振光在捡偏方 向发生干涉时，干涉光强不稳定，造成了陀螺输出的漂移 如果 顺时针方向或逆时针方向的椭圆偏振光分别以正交方式出现，一对正交的椭圆偏 振光强在捡 偏方向上是互补的，他们又是互不相关的，那末输出干涉光强将是稳定的消偏 器在光纤陀 螺中就能起这样的作用 光纤消偏器用两段长度不同的保偏光纤制成，主光轴互成 45 度 这种消偏器称为 Lyot 型消偏器，是一种特殊的光纤无源器件 3． 3． 7 微小型光纤偏振 控制器 全单模光纤的光纤陀螺是可以实现的，甚至无需使用光纤消偏器为了使这种陀螺处 于最好的工作状态，在光路中需加入一个光纤偏振控制器偏振控制器的原理是清楚的，但 是 作为光纤陀螺中应用，要实现小型化和高偏振稳定度确是有难度的 使用微型光纤偏振控制 器可以制成低成本的全单模光纤陀螺，这种模式的光纤陀螺有 广泛的应用市场，如用于汽车 导航系统、机器人等 3．5光电通讯网 丰富的开发资源，丰富的技术交流，硬件设计者的网上家 园结束语 本文不是试图从学术上来讨论光纤陀螺与光电子技术，仅仅是为了说明它们之间 的依赖关系和发展趋势光纤陀螺所涉及的光电子器件与光通信的光电子器件在技术上是相 通的， 但并非光通信 的光电子器件搬到光纤陀螺中就能满足使用要求。
光电子技术的研究 和发展不要忽视了光纤传感器特别是光纤陀螺未来的市场 同样光纤 陀螺的研发不要仅局 限于惯性技术范围， 而应特别关注并在可能情况下参与光电子技术的应 用发展处理好了 以上关系，光电子器件在光纤传感的应用中才能发挥出强大的生命力。