泓域咨询/南京硅片项目投资计划书目录第一章 项目投资主体概况 7一、 公司基本信息 7二、 公司简介 7三、 公司竞争优势 8四、 公司主要财务数据 10公司合并资产负债表主要数据 10公司合并利润表主要数据 10五、 核心人员介绍 11六、 经营宗旨 12七、 公司发展规划 12第二章 市场预测 19一、 硅片 19二、 靶材 24三、 封装材料 26第三章 绪论 30一、 项目名称及项目单位 30二、 项目建设地点 30三、 可行性研究范围 30四、 编制依据和技术原则 31五、 建设背景、规模 32六、 项目建设进度 33七、 环境影响 33八、 建设投资估算 33九、 项目主要技术经济指标 34主要经济指标一览表 34十、 主要结论及建议 35第四章 项目背景、必要性 37一、 湿电子化学品 37二、 陶瓷基板 39三、 着力推动城乡区域协调发展提升省会城市功能和中心城市首位度 41四、 畅通经济高效循环服务支撑新发展格局 45五、 项目实施的必要性 50第五章 产品方案与建设规划 51一、 建设规模及主要建设内容 51二、 产品规划方案及生产纲领 51产品规划方案一览表 52第六章 建筑技术分析 53一、 项目工程设计总体要求 53二、 建设方案 54三、 建筑工程建设指标 55建筑工程投资一览表 55第七章 法人治理 57一、 股东权利及义务 57二、 董事 59三、 高级管理人员 63四、 监事 65第八章 发展规划 68一、 公司发展规划 68二、 保障措施 74第九章 SWOT分析 76一、 优势分析(S) 76二、 劣势分析(W) 78三、 机会分析(O) 78四、 威胁分析(T) 79第十章 劳动安全分析 85一、 编制依据 85二、 防范措施 87三、 预期效果评价 91第十一章 进度计划 93一、 项目进度安排 93项目实施进度计划一览表 93二、 项目实施保障措施 94第十二章 项目环境保护 95一、 编制依据 95二、 环境影响合理性分析 96三、 建设期大气环境影响分析 98四、 建设期水环境影响分析 100五、 建设期固体废弃物环境影响分析 101六、 建设期声环境影响分析 101七、 环境管理分析 102八、 结论及建议 104第十三章 原辅材料分析 106一、 项目建设期原辅材料供应情况 106二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理 106第十四章 项目投资分析 108一、 编制说明 108二、 建设投资 108建筑工程投资一览表 109主要设备购置一览表 110建设投资估算表 111三、 建设期利息 112建设期利息估算表 112固定资产投资估算表 113四、 流动资金 114流动资金估算表 114五、 项目总投资 115总投资及构成一览表 116六、 资金筹措与投资计划 116项目投资计划与资金筹措一览表 117第十五章 经济效益 118一、 经济评价财务测算 118营业收入、税金及附加和增值税估算表 118综合总成本费用估算表 119固定资产折旧费估算表 120无形资产和其他资产摊销估算表 121利润及利润分配表 122二、 项目盈利能力分析 123项目投资现金流量表 125三、 偿债能力分析 126借款还本付息计划表 127第十六章 项目招标方案 129一、 项目招标依据 129二、 项目招标范围 129三、 招标要求 130四、 招标组织方式 130五、 招标信息发布 134第十七章 总结评价说明 135第十八章 附表附录 137主要经济指标一览表 137建设投资估算表 138建设期利息估算表 139固定资产投资估算表 140流动资金估算表 140总投资及构成一览表 141项目投资计划与资金筹措一览表 142营业收入、税金及附加和增值税估算表 143综合总成本费用估算表 144利润及利润分配表 145项目投资现金流量表 146借款还本付息计划表 147本期项目是基于公开的产业信息、市场分析、技术方案等信息,并依托行业分析模型而进行的模板化设计,其数据参数符合行业基本情况。
本报告仅作为投资参考或作为学习参考模板用途第一章 项目投资主体概况一、 公司基本信息1、公司名称:xxx(集团)有限公司2、法定代表人:张xx3、注册资本:960万元4、统一社会信用代码:xxxxxxxxxxxxx5、登记机关:xxx市场监督管理局6、成立日期:2014-10-67、营业期限:2014-10-6至无固定期限8、注册地址:xx市xx区xx9、经营范围:从事硅片相关业务(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动二、 公司简介面对宏观经济增速放缓、结构调整的新常态,公司在企业法人治理机构、企业文化、质量管理体系等方面着力探索,提升企业综合实力,配合产业供给侧结构改革同时,公司注重履行社会责任所带来的发展机遇,积极践行“责任、人本、和谐、感恩”的核心价值观多年来,公司一直坚持坚持以诚信经营来赢得信任公司秉承“以人为本、品质为本”的发展理念,倡导“诚信尊重”的企业情怀;坚持“品质营造未来,细节决定成败”为质量方针;以“真诚服务赢得市场,以优质品质谋求发展”的营销思路;以科学发展观纵观全局,争取实现行业领军、技术领先、产品领跑的发展目标。
三、 公司竞争优势(一)工艺技术优势公司一直注重技术进步和工艺创新,通过引入国际先进的设备,不断加大自主技术研发和工艺改进力度,形成较强的工艺技术优势公司根据客户受托产品的品种和特点,制定相应的工艺技术参数,以满足客户需求,已经积累了丰富的工艺技术经过多年的技术改造和工艺研发,公司已经建立了丰富完整的产品生产线,配备了行业先进的设备,形成了门类齐全、品种丰富的工艺,可为客户提供一体化综合服务二)节能环保和清洁生产优势公司围绕清洁生产、绿色环保的生产理念,依托科技创新,注重从产品结构和工艺技术的优化来减少三废排放,实现污染的源头和过程控制,通过引进智能化设备和采用自动化管理系统保障清洁生产,提高三废末端治理水平,保障环境绩效经过持续加大环保投入,公司已在节能减排和清洁生产方面形成了较为明显的竞争优势三)智能生产优势近年来,公司着重打造 “智慧工厂”,通过建立生产信息化管理系统和自动输送系统,将企业的决策管理层、生产执行层和设备运作层进行有机整合,搭建完整的现代化生产平台,智能系统的建设有利于公司的订单管理和工艺流程的优化,在确保满足客户的各类功能性需求的同时缩短了产品交付期,提高了公司的竞争力,增强了对客户的服务能力。
四)区位优势公司地处产业集聚区,在集中供气、供电、供热、供水以及废水集中处理方面积累了丰富的经验,能源配套优势明显产业集群效应和配套资源优势使公司在市场拓展、技术创新以及环保治理等方面具有独特的竞争优势五)经营管理优势公司拥有一支敬业务实的经营管理团队,主要高级管理人员长期专注于印染行业,对行业具有深刻的洞察和理解,对行业的发展动态有着较为准确的把握,对产品趋势具有良好的市场前瞻能力公司通过自主培养和外部引进等方式,建立了一支团结进取的核心管理团队,形成了稳定高效的核心管理架构公司管理团队对公司的品牌建设、营销网络管理、人才管理等均有深入的理解,能够及时根据客户需求和市场变化对公司战略和业务进行调整,为公司稳健、快速发展提供了有力保障四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额9776.817821.457332.61负债总额4309.083447.263231.81股东权益合计5467.734374.184100.80公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入50268.8040215.0437701.60营业利润11652.269321.818739.19利润总额10448.848359.077836.63净利润7836.636112.575642.37归属于母公司所有者的净利润7836.636112.575642.37五、 核心人员介绍1、张xx,中国国籍,无永久境外居留权,1971年出生,本科学历,中级会计师职称。
2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理2017年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监2、方xx,1974年出生,研究生学历2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司;2006年8月至2011年3月,任xxx有限责任公司销售部副经理2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长;2019年8月至今任公司监事会主席3、戴xx,中国国籍,无永久境外居留权,1958年出生,本科学历,高级经济师职称1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长;2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事长;2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理;2019年3月至今任公司董事4、姚xx,中国国籍,1978年出生,本科学历,中国注册会计师2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事2019年1月至今任公司独立董事5、方xx,中国国籍,无永久境外居留权,1959年出生,大专学历,高级工程师职称2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问;2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。
2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师6、贾xx,中国国籍,无永久境外居留权,1970年出生,硕士研究生学历2012年4月至今任xxx有限公司监事2018年8月至今任公司独立董事7、苏xx,中国国籍,1977年出生,本科学历2018年9月至今历任公司办公室主任,2017年8月至今任公司监事8、许xx,1957年出生,大专学历1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司;2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事2018年3月至今任公司董事六、 经营宗旨以市场经济为导向,立足主业,引进新项目、开发新技术、开辟新市场,以求高信誉、高效率、高效益,为用户提供一流的产品和服务,为股东和投资者获得更多的利益,实现社会效益和经济效益的最大化七、 公司发展规划(一)发展计划1、发展战略作为高附加值产业的重要技术支撑,正在转变发展思路,由“高速增长阶段”向“高质量发展”迈进公司顺应产业的发展趋势,以“科技、创新”为经营理念,以技术创新、智能制造、产品升级和节能环保为重点,致力于构造技术密集、资源节约、环境友好、品质优良、持续发展的新型企业,推进公司高质量可持续发展2、经营目标目前,行业正在从粗放式扩张阶段转向高质量发展阶段,公司将进一步扩大高端产品的生产能力,抓住市场机遇,提高市场占有率;进一步加大研发投入,注重技术创新,提升公司科技研发能力;进一步加强环境保护工作,积极开发应用节能减排染整技术,保持清洁生产和节能减排的竞争优势;进一步完善公司内部治理机制,按照公司治理准则的要求规范公司运行,提升运营质量和效益,努力把公司打造成为行业的标杆企业。
二)具体发展计划1、市场开拓计划公司将在巩固现有市场基础上,根据下游行业个性化、多元化的消费特点,以新技术新产品为支撑,加快市场开拓步伐主要计划如下:(1)密切跟踪市场消费需求的变化,建立市场、技术、生产多部门联动机制,提高公司对市场变化的反应能力; (2)进一步完善市场营销网络,加强销售队伍建设,优化以营销人员为中心的销售责任制,激发营销人员的工作积极性; (3)加强品牌建设,以优质的产品和服务赢得客户,充分利用互联网宣传途径,扩大公司知名度,增加客户及市场对迎丰品牌的认同感; (4)在巩固现有市场的基础上,积极开拓新市场,推进省内外市场的均衡协调发展,进一步提升公司市场占有率2、技术开发计划公司的技术开发工作将重点围绕提升产品品质、节能环保、知识产权保护等方面展开公司将在现有专利、商标等相关知识产权的基础上,进一步加强知识产权的保护工作,将技术研发成果整理并进行相应的专利申请,通过对公司无形资产的保护,切实做好知识产权的维护为保证上述技术开发计划的顺利实施,公司将加大科研投入,强化研发队伍素质,创新管理机制和服务机制,积极参加行业标准的制定,不断提高企业的整体技术开发能力3、人力资源发展计划培育、拥有一支有事业心、有创造力的人才队伍,是企业核心竞争力和可持续发展的原动力。
随着经营规模的不断扩大,公司对人才的需求将更为迫切,人才对公司发展的支撑作用将进一步显现为此,公司将重点做好以下工作:(1)加强人才的培养与引进工作,培育优秀技术人才、管理人才;(2)加强与高校间的校企人才合作,充分利用高校的人才优势和教育资源优势,开展技术合作和人才培养,全面提升技术人员的整体素质;(3)加强对基层员工的技能培训和岗位培训,提高劳动熟练程度和自动化设备的操作能力,有效提高劳动效率和产品质量4)积极探索员工激励机制,进一步完善以绩效为导向的人力资源管理体系,充分调动员工的积极性4、企业并购计划公司将抓住行业整合机会,根据自身发展战略,充分利用现有的综合竞争优势,整合有价值的市场资源,推进收购、兼并、控股或参股同行业具有一定互补优势的公司,实现产品经营和资本经营、产业资本与金融资本的有机结合,进一步增强公司的经营规模和市场竞争能力5、筹融资计划目前公司正处于快速发展期,新生产线建设、技术改造、科技开发、人才引进、市场拓展等方面均需较大的资金投入公司将根据经营发展计划和需要,综合考虑融资成本、资产结构、资金使用时间等多种因素,采取多元化的筹资方式,满足不同时期的资金需求,推动公司持续、快速、健康发展。
积极利用资本市场的直接融资功能,为公司的长远发展筹措资金三)面临困难公司资产规模将进一步增长,业务将不断发展和扩大,但在战略规划、营销策略、组织设计、资源配置,特别是资金管理和内部控制等方面面临新的挑战同时,公司今后发展中,需要大量的管理、营销、技术等方面的人才,也使公司面临较大的人才培养、引进和合理使用的压力公司必须尽快提高各方面的应对能力,才能保持持续发展,实现各项业务发展目标1、资金不足发展计划的实施需要足够的资金支持目前公司融资手段较为单一,所需资金主要通过银行贷款解决,融资成本较高,还本付息压力较大,难以满足公司快速发展的要求因此,能否借助资本市场,将成为公司发展计划能否成功实施的关键如果不能顺利募集到足够的资金,公司的发展计划将难以如期实现2、人才紧缺随着经营规模的不断扩大,公司在新产品新技术开发、生产经营管理方面,高级科研人才和管理人才相对缺乏,将影响公司进一步提高研发能力和管理水平因此,能否尽快引进、培养这方面人才将对募投项目的顺利实施和公司未来发展产生较大的影响四)采用的方式、方法或途径建立多渠道融资体系,实现公司经营发展目标公司拟建立资本市场直接融资渠道,改变融资渠道单一依赖银行贷款的现状,为公司未来重大投资项目的顺利实施筹集所需资金,确保公司经营发展目标的实现。
同时,加强与商业银行的联系,构建良好的银企合作关系,及时获得商业银行的贷款支持,缓解公司发展过程中的资金压力1、内部培养和外部引进高层次人才,应对经营规模快速提升面临的挑战公司现有人员在数量、知识结构和专业技能等方面将不能完全满足公司快速发展的需求,公司需加快内部培养和外部引进高层次人才的力度,确保高素质技术人才、经营管理人才以及营销人才满足公司发展需要为此,公司拟采取下列措施:1、加强人力资源战略规划,通过建立有市场竞争力的薪酬体系和公平有序的职业晋升机制,吸引优秀的技术、营销、管理人才加入公司,提升公司综合竞争力;2、进一步完善以绩效为导向的员工激励与约束机制,努力营造团结和谐的企业文化,强化员工对企业的归属感和责任感,保持公司人才队伍的稳定性和积极性;3、加强年轻人才的培养,建立人才储备机制,增强公司人才队伍的深度和厚度,形成完整有序的人才梯队,实现公司可持续发展2、以市场需求为驱动,提高公司竞争能力公司将以市场为导向,认真研究市场需求,密切跟踪印染行业政策及最新发展动向,推动科技创新和加大研发投入,优化产品结构,开拓高端市场,不断提升管理水平和服务质量,丰富服务内容,完善和延伸产业链,提升公司的核心竞争力和市场地位,最终实现公司的战略发展目标。
第二章 市场预测一、 硅片硅基半导体材料是目前产量最大、应用最广的半导体材料,通常将95-99%纯度的硅称为工业硅沙子、矿石中的二氧化硅经过纯化,可制成纯度98%以上的硅;高纯度硅经过进一步提纯变为纯度达99.9999999%至99.999999999%(9-11个9)的超纯多晶硅;超纯多晶硅在石英坩埚中熔化,并掺入硼(P)、磷(B)等元素改变其导电能力,放入籽晶确定晶向,经过单晶生长,便生长出具有特定电性功能的单晶硅锭单晶硅的制备方法通常有直拉法(CZ)和区熔法(FZ),直拉法硅片主要用在逻辑、存储芯片中,市占率约95%,区熔法硅片主要用在部分功率芯片中,市占率约4%熔体的温度、提拉速度和籽晶/石英坩埚的旋转速度决定了单晶硅锭的尺寸和晶体质量,掺杂的硼(P)、磷(B)等杂质元素浓度决定了单晶硅锭的电特性单晶硅锭制备好后,再经过切段、滚磨、切片、倒角、抛光、激光刻、包装后,便成为硅片根据纯度不同,分为半导体硅片和光伏硅片,半导体硅片要求硅含量为9N(99.9999999%)-11N(99.999999999%),而光伏用硅片一般在4N-6N之间即可,下游应用主要包括消费电子、通信、汽车、航空航天、医疗、太阳能等领域。
硅片制备好之后,再经过一列热处理、光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗、CMP、测试等环节,便可成功制得硅晶圆,具体分为几部分:1)晶圆:制作半导体集成电路的核心原料板;2)Die:晶圆上有很多小方块,每一个正方形是一个集成电路芯片;3)划线:这些芯片之间实际上有间隙,这个间距叫做划线,划线的目的是在晶圆加工后将每个芯片切割出来并组装成一个芯片;4)平区:引入平区是为了识别晶圆结构,并作为晶圆加工的参考线由于晶圆片的结构太小,肉眼无法看到,所以晶圆片的方向就是根据这个平面区域来确定的;5)切口:带有切口的晶圆最近已经取代了平面区域,因为切口晶圆比平区晶圆效率更高,可以生产更多的芯片半导体硅片通常可以按照尺寸、工艺两种方式进行分类按照尺寸分类,半导体硅片的尺寸(以直径计算)主要包括23mm、25mm、28mm、50mm(2英寸)、75mm(3英寸)、100mm(4英寸)、125mm(5英寸)、150mm(6英寸)、200mm(8英寸)与300mm(12英寸)等规格自1960年生产出23mm的硅片之后,硅片尺寸就越来越大,到2002年已经可以量产300mm(12英寸)硅片,厚度则达到了历史新高775μm。
当硅片尺寸越大,单个硅片上的芯片数量就越多,从而能够提高生产效率、降低生产成本300mm硅片是200mm硅片面积的2.25倍,生产芯片数量方面,根据SiliconCrystalStructureandGrowth数据,以1.5cm×1.5cm的芯片为例,300mm硅片芯片数量232颗,200mm硅片芯片数量88颗,300mm硅片是200mm硅片芯片数量的2.64倍根据应用领域的不同,越先进的工艺制程往往使用更大尺寸的硅片生产因此,在摩尔定律的驱动下,工艺制程越先进,生产用的半导体硅片尺寸就越大目前全球半导体硅片以12英寸为主,根据SEMI数据,2020年全球硅片12英寸占比69%,8英寸占比24%,6英寸及以下占比7%未来随着新增12英寸晶圆厂不断投产,未来较长的时间内,12英寸仍将是半导体硅片的主流品种,小尺寸硅片将逐渐被淘汰,但是8英寸短期仍不会被12英寸替代目前量产硅片止步300mm,而450mm硅片迟迟未商用量产,主要原因是制备450mm硅片需要大幅增加设备及制造成本,但是SEMI曾预测每个450mm晶圆厂单位面积芯片成本只下降8%,此时晶圆尺寸不再是降低成本的主要途径,因此厂商难以有动力投入450mm量产。
全球8英寸和12英寸硅片下游应用侧重有所不同,根据SUMCO数据,2020年8英寸半导体硅片下游应用中,汽车/工业/智能分列前3名,占比分别为33%/27%/19%;2020年12英寸半导体硅片下游应用中,智能/服务器/PC或平板分列前3名,占比分别为32%/24%/20%按照制造工艺分类,半导体硅片分为抛光片、外延片以及SOI硅片单晶硅锭经过切割、研磨和抛光处理后,便得到抛光片抛光片本身可直接用于制作半导体器件,广泛应用于存储芯片与功率器件等,此外也可作为外延片、SOI硅片的衬底材料外延是通过CVD的方式在抛光面上生长一层或多层掺杂类型、电阻率、厚度和晶格结构都符合特定器件要求的新硅单晶层因此外延片是抛光片经过外延生长形成的,外延技术可以减少硅片中因单晶生长产生的缺陷,具有更低的缺陷密度、含碳量和含氧量,能够改善沟道漏电现象,提高IC可靠性,被广泛应用于制作通用处理器芯片、图形处理器芯片如果生长一层高电阻率的外延层,还可以提高器件的击穿电压,用于制作二极管、IGBT等功率器件,广泛应用于汽车电子、工业用电子领域SOI是绝缘层上硅,核心特征是在顶层硅和支撑衬底之间引入了一层氧化物绝缘埋层,能够实现全介质隔离,大幅减少了硅片的寄生电容以及漏电现象,并消除了闩锁效应。
SOI硅片是抛光片经过氧化、键合或离子注入等工艺处理后形成的,特点是寄生电容小、短沟道效应小、低压低功耗、集成密度高、速度快、工艺简单、抗宇宙射线粒子的能力强,因此适用于制造耐高压、耐恶劣环境、低功耗、集成度高的芯片,如射频前端芯片、功率器件、汽车电子、传感器以及星载芯片等,尤以射频应用最为广泛SOI硅片价格高于一般硅片4至5倍,主要应用中,5G射频前端(RF-SOI)占比60%,Power-SOI和PD-SOI各占20%市场规模方面,根据SEMI数据,全球半导体硅片(不含SOI硅片)市场规模在经历了2015-2016年低谷之后,开始稳步上升,到2021年已达到126.2亿美元受益于中国大陆晶圆厂扩产的拉动,中国大陆半导体硅片(不含SOI硅片)市场规模2012年为5亿美元,2017开始迅速增长,2021年已达到为16.6亿美元出货面积方面,根据SEMI数据,全球半导体硅片(不含SOI硅片)2012年出货面积为90亿平方英寸,2020年为122.6亿平方英寸,2021年为141.7亿平方英寸单位面积硅片价格2009年为1美元/平方英寸,2016年下降到0.68美元/平方英寸,2021年回暖至0.99美元/平方英寸。
SOI硅片方面,由于应用场景规模较小,整体行业规模小于抛光片和外延片,根据SEMI及ResearchandMarkets数据,2013年全球市场规模为4亿美元,2021年为13.7亿美元,预计到2025年将达到22亿美元中国大陆SOI硅片市场规模2016年为0.02亿美元,2018年增长至0.11亿美元根据Soitec数据,随着通信技术从3G向4G、5G升级过程中,单部智能SOI硅片需求面积亦随之增加,3G时为2mm2,4GLTE-A为20mm2,5Gsub-6GHz为52mm2,5Gsub-6GHz&mmW为130mm2在射频前端模组领域,在4G/5G(sub-6G)中,RF-SOI用于低噪声放大器、开关以及天线调谐器等,FD-SOI用于追踪器;在毫米波中,RF-SOI用于功放、低噪声放大器、开关以及移相器,FD-SOI可用于移相器、SoC等;而在WiFi和UWB中,RF-SOI用于功放、低噪声放大器以及开关,FD-SOI用于移相器、SoC等产能方面,根据ICInsights数据,2018年全球半导体硅片2.23亿片,2020年增长至2.6亿片,保持稳步增长态势在目前芯片供不应求的背景下,晶圆厂扩产将进一步推升硅片产能。
2020年全球硅片主要厂商中,前7大厂商合计占比94.5%,其中日本信越化学占比27.5%,排名第1;日本胜高占比21.5%,排名第2;中国台湾环球晶圆占比14.8%,排名第3;德国世创占比11.5%,排名第4;韩国SKSiltron占比11.3%,排名第5;法国Soitec占比5.7%,排名第6;中国大陆厂商沪硅产业占比2.2%,排名第7,也是唯一进入全球前7的中国大陆厂商二、 靶材PVD技术是制备薄膜材料的主要技术之一,指在真空条件下采用物理方法,将某种物质表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基板材料表面沉积具有某种特殊功能的薄膜材料的技术PVD技术已成为目前主流镀膜方法,主要包括溅射镀膜和真空蒸发镀膜用于制备薄膜材料的物质,统称为PVD镀膜材料溅射镀膜是指利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基板材料表面的技术被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜材料的原材料,称为溅射靶材溅射靶材主要由靶坯、背板(或背管)等部分构成,靶坯是高速离子束流轰击的目标材料,属于溅射靶材的核心部分。
溅射镀膜工艺可重复性好、膜厚可控制,可在大面积基板材料上获得厚度均匀的薄膜,所制备的薄膜具有纯度高、致密性好、与基板材料的结合力强等优点,已成为制备薄膜材料的主要技术之一,各种类型的溅射薄膜材料已得到广泛的应用,溅射靶材是目前市场应用量最大的PVD镀膜材料真空蒸发镀膜是指在真空条件下,利用膜材加热装置(称为蒸发源)的热能,通过加热蒸发某种物质使其沉积在基板材料表面的一种沉积技术被蒸发的物质是用真空蒸发镀膜法沉积薄膜材料的原材料,称之为蒸镀材料真空蒸发镀膜技术具有简单便利、操作方便、成膜速度快等特点,主要应用于小尺寸基板材料的镀膜以金属靶材为例,高纯溅射靶材产业链上游为金属提纯,包括原材料和生产设备,其中高纯金属原材料生产成本可占到靶材生产成本的大约80%,国外厂商包括斯塔克、住友化学、霍尼韦尔、大阪钛业等,中国厂商包括东方钽业、宁波创润、紫金矿业等;生产设备包括靶材冷轧系统、等离子喷涂设备、热处理炉等30多种中游为高纯溅射靶材制备,国外厂商主要有日矿金属、霍尼韦尔、东曹、普莱克斯等,中国厂商主要有江丰电子、有研新材(有研亿金)、阿石创等在溅射镀膜过程中,溅射靶材需要安装在机台中完成溅射反应,溅射机台专用性强、精密度高,市场长期被美国、日本公司垄断,主要厂商包括美国AMAT(应用材料)、日本ULVAC(爱发科)、日本ANELVA、美国Varian(瓦里安)等。
下游应用主要包括半导体(占比20%)、平板显示(占比30%)、太阳能电池(占比18%)等,主要厂商有台积电、联电、SK海力士、中芯国际、华虹半导体、三星电子、LGDisplay、京东方、华星光电、SunPower(太阳能源)、天合光能等三、 封装材料芯片封装工艺流程包括来料检查、贴膜、磨片、贴片、划片、划片检测、装片、键合、塑封、打标、切筋打弯、品质检验,最终是产品出货在这一过程中,就需要用到封装基板、引线框架、键合丝、包封材料、陶瓷基板、粘接材料等封装材料,这些材料是芯片完成封装出货的重要支撑传统的IC封装采用引线框架作为IC导通线路与支撑IC的载体,连接引脚于导线框架的两旁或四周,如四侧引脚扁平封装(QuadFlatPackage,简称QFP)、方形扁平无引脚封装(QuadFlatNo-leads,简称QFN)等随着技术发展,IC的线宽不断缩小,集成度稳步提高,IC封装逐步向着超多引脚、窄节距、超小型化方向发展20世纪90年代中期,一种以球栅阵列封装(BallGridArray,简称BGA)、芯片尺寸封装(ChipScalePackage,简称CSP)为代表的新型IC高密度封装形式问世,从而产生了一种新的封装载体——封装基板。
在高阶封装领域,封装基板已取代传统引线框架,成为芯片封装中不可或缺的一部分,不仅为芯片提供支撑、散热和保护作用,同时为芯片与PCB母板之间提供电子连接,起着“承上启下”的作用;甚至可埋入无源、有源器件以实现一定系统功能封装基板在HDI板的基础上发展而来,是适应电子封装技术快速发展而向高端技术的延伸,作为一种高端的PCB,封装基板具有高密度、高精度、高性能、小型化及薄型化等特点根据Prismark数据,2021年全球PCB行业产值为804.49亿美元,同比增长23.4%,预计2021-2026年全球PCB行业的复合增长率为4.8%下游应用中,通讯占比32%,计算机占比24%,消费电子占比15%,汽车电子占比10%,服务器占比10%从产品结构来看,IC封装基板和HDI板虽然占比不高,分别占比17.6%和14.7%,但却是主要的增长驱动因素2021年全球IC封装基板行业整体规模达141.98亿美元、同比增长39.4%,已超过柔性板成为印制电路板行业中增速最快的细分子行业2021年中国IC封装基板(含外资厂商在国内工厂)市场规模为23.17亿美元、同比增长56.4%,仍维持快速增长的发展态势预计2026年全球IC封装基板、HDI板的市场规模将分别达到214.35/150.12亿美元,2021-2026年的CAGR分别为8.6%/4.9%。
预计2026年中国市场IC封装基板(含外资厂商在国内工厂)市场规模将达到40.19亿美元,2021-2026年CAGR为11.6%,高于行业平均水平封装基板与传统PCB的不同之处在于两大核心壁垒:加工难度高、投资门槛高从产品层数、厚度、线宽与线距、最小环宽等维度看,封装基板未来发展将逐步精密化与微小化,而且单位尺寸小于150*150mm,是更高端的PCB,其中线宽/线距是产品的核心差异,封装基板的最小线宽/线距范围在10~130μm,远远小于普通多层硬板PCB的50~1000μm目前全球封装基板厂商主要分布在日本、韩国和中国台湾,根据Prismark和集微咨询数据,2020年封装基板市场格局较为分散,中国台湾厂商欣兴电子/南亚电路/景硕科技/日月光材料占比分别为15%/9%/9%/4%,产品主要有WB和FC封装基板;日本厂商揖斐电/新光电气/京瓷占比分别为11%/8%/5%,产品主要为FC封装基板;韩国厂商三星电机/信泰电子/大德电子占比分别为10%/7%/5%,产品主要为FC封装基板第三章 绪论一、 项目名称及项目单位项目名称:南京硅片项目项目单位:xxx(集团)有限公司二、 项目建设地点本期项目选址位于xx(以最终选址方案为准),占地面积约75.00亩。
项目拟定建设区域地理位置优越,交通便利,规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备,非常适宜本期项目建设三、 可行性研究范围1、项目提出的背景及建设必要性;2、市场需求预测;3、建设规模及产品方案;4、建设地点与建设条性;5、工程技术方案;6、公用工程及辅助设施方案;7、环境保护、安全防护及节能;8、企业组织机构及劳动定员;9、建设实施与工程进度安排;10、投资估算及资金筹措;11、经济评价四、 编制依据和技术原则(一)编制依据1、本期工程的项目建议书2、相关部门对本期工程项目建议书的批复3、项目建设地相关产业发展规划4、项目承办单位可行性研究报告的委托书5、项目承办单位提供的其他有关资料二)技术原则坚持以经济效益为中心,社会效益和不境效益为重点指导思想,以技术先进、经济可行为原则,立足本地、面向全国、着眼未来,实现企业高质量、可持续发展1、优化规划方案,尽可能减少工程项目的投资额,以求得最好的经济效益2、结合厂址和装置特点,总图布置力求做到布置紧凑,流程顺畅,操作方便,尽量减少用地3、在工艺路线及公用工程的技术方案选择上,既要考虑先进性,又要确保技术成熟可靠,做到先进、可靠、合理、经济。
4、结合当地有利条件,因地制宜,充分利用当地资源5、根据市场预测和当地情况制定产品方向,做到产品方案合理6、依据环保法规,做到清洁生产,工程建设实现“三同时”,将环境污染降低到最低程度7、严格执行国家和地方劳动安全、企业卫生、消防抗震等有关法规、标准和规范做到清洁生产、安全生产、文明生产五、 建设背景、规模(一)项目背景晶圆制造材料中,硅片为晶圆制造基底材料;光刻胶用于图形转移;电子特气用于氧化、还原、除杂;抛光材料用于实现平坦化封装材料中,封装基板与引线框架起到保护芯片、支撑芯片、连接芯片与PCB的作用,封装基板还具有散热功能;键合丝则用于连接芯片和引线框架二)建设规模及产品方案该项目总占地面积50000.00㎡(折合约75.00亩),预计场区规划总建筑面积77240.27㎡其中:生产工程50668.80㎡,仓储工程14268.80㎡,行政办公及生活服务设施6209.87㎡,公共工程6092.80㎡项目建成后,形成年产xx颗硅片的生产能力六、 项目建设进度结合该项目建设的实际工作情况,xxx(集团)有限公司将项目工程的建设周期确定为12个月,其工作内容包括:项目前期准备、工程勘察与设计、土建工程施工、设备采购、设备安装调试、试车投产等。
七、 环境影响本期工程项目设计中采用了清洁生产工艺,应用清洁原材料,生产清洁产品,同时采取完善和有效的清洁生产措施,能够切实起到消除和减少污染的作用;因此,本期工程项目建成投产后,各项环境指标均符合国家和地方清洁生产的标准要求八、 建设投资估算(一)项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金根据谨慎财务估算,项目总投资28167.05万元,其中:建设投资21813.22万元,占项目总投资的77.44%;建设期利息231.95万元,占项目总投资的0.82%;流动资金6121.88万元,占项目总投资的21.73%二)建设投资构成本期项目建设投资21813.22万元,包括工程费用、工程建设其他费用和预备费,其中:工程费用18184.95万元,工程建设其他费用3089.81万元,预备费538.46万元九、 项目主要技术经济指标(一)财务效益分析根据谨慎财务测算,项目达产后每年营业收入64400.00万元,综合总成本费用48557.98万元,纳税总额7154.65万元,净利润11617.78万元,财务内部收益率33.50%,财务净现值22001.58万元,全部投资回收期4.51年。
二)主要数据及技术指标表主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积㎡50000.00约75.00亩1.1总建筑面积㎡77240.271.2基底面积㎡28000.001.3投资强度万元/亩268.882总投资万元28167.052.1建设投资万元21813.222.1.1工程费用万元18184.952.1.2其他费用万元3089.812.1.3预备费万元538.462.2建设期利息万元231.952.3流动资金万元6121.883资金筹措万元28167.053.1自筹资金万元18699.503.2银行贷款万元9467.554营业收入万元64400.00正常运营年份5总成本费用万元48557.98""6利润总额万元15490.37""7净利润万元11617.78""8所得税万元3872.59""9增值税万元2930.41""10税金及附加万元351.65""11纳税总额万元7154.65""12工业增加值万元23077.54""13盈亏平衡点万元19335.36产值14回收期年4.5115内部收益率33.50%所得税后16财务净现值万元22001.58所得税后十、 主要结论及建议经初步分析评价,项目不仅有显著的经济效益,而且其社会救益、生态效益非常显著,项目的建设对提高农民收入、维护社会稳定,构建和谐社会、促进区域经济快速发展具有十分重要的作用。
项目在社会经济、自然条件及投资等方面建设条件较好,项目的实施不但是可行而且是十分必要的第四章 项目背景、必要性一、 湿电子化学品湿电子化学品(WetChemicals)是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料,广泛用于半导体、显示面板、光伏、LED等电子元器件微细加工的清洗、光刻、显影、蚀刻、掺杂等工艺环节配套使用,是半导体、显示面板、光伏等制作过程中不可缺少的关键性材料之一从大类来分,一般可划分为通用湿电子化学品和功能湿电子化学品通用湿电子化学品指在半导体、显示面板、光伏等制造工艺中被大量使用的液体化学品,一般为单成份、单功能化学品,具体分为酸类、碱类、有机溶剂类和其他类,产品包括氢氟酸、硫酸、氢氧化钾、氢氧化钠、甲醇、丙酮、过氧化氢等功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配类化学品,以光刻胶配套材料为代表,产品有显影液、剥离液、清洗液、蚀刻液、稀释液等,一般配合光刻胶使用,应用于晶圆制造的涂胶、显影和去胶工艺根据中国电子材料行业协会数据,通用湿电子化学品占比88.2%,其中过氧化氢占比16.7%,氢氟酸占比16%,硫酸占比15.3%,硝酸占比14.3%。
功能湿电子化学品占比11.8%,其中MEA等极性溶液占比3.2%,显影液(半导体用)占比2.7%,蚀刻液(半导体用)占比2.2%湿电子化学品在集成电路中的应用主要为刻蚀和清洗等,包括硅片、晶圆制造、光罩制作以及封装工艺等,具体分为扩散前清洗、刻蚀后清洗、离子注入后清洗、光罩过程蚀刻清洗、封装TSV清洗、键合清洗等全球湿电子化学品通常执行SEMI国际标准,关键技术指标主要包括金属杂质、控制粒径、颗粒数、IC线宽等根据指标的不同,分为G1-G5共5个等级,等级越高精细度越高湿电子化学品在下游应用领域的标准有所不同,其中光伏和分立器件集中在G1级,面板集中在G2-G4级,集成电路对纯度要求最高,集中在G3-G5级,而且晶圆尺寸越大对纯度要求越高,12英寸晶圆制造通常需要G4-G5级全球及中国湿电子化学品市场规模呈稳步增长态势根据智研咨询数据,全球湿电子化学品(通用+功能)市场规模2011年为25.3亿美元,2020年为56.8亿美元;中国湿电子化学品市场规模2011年为27.8亿元,2021年为137.8亿元,预计2022年将达到163.9亿元,2028年将达到301.7亿元需求量方面,根据中国电子材料行业协会数据,2021年全球湿电子化学品需求量为458.3万吨,半导体需求量209万吨,显示面板需求量167.2万吨,光伏等其他需求量82.1万吨。
预计到2025年全球湿电子化学品需求量将达到697.2万吨,半导体需求量313万吨,显示面板需求量244万吨,光伏等其他需求量140.2万吨2021年中国湿电子化学品需求量为213.5万吨,半导体需求量70.3万吨,显示面板需求量77.8万吨,光伏需求量65.4万吨预计到2025年中国湿电子化学品需求量将达到369.6万吨,半导体需求量106.9万吨,显示面板需求量149.5万吨,光伏需求量113.1万吨分应用领域来看,根据中国电子材料行业协会数据,中国集成电路用湿电子化学品市场规模2021年为52.1亿元,预计到2025年将达到69.8亿元;中国显示面板用湿电子化学品市场规模2021年为62.3亿元,预计到2025年将达到126.5亿元二、 陶瓷基板随着功率电子产品技术进步,散热问题已成为制约其向着大功率与轻型化方向发展的瓶颈陶瓷基板作为新兴的散热材料,具有优良电绝缘性能,高导热特性,导热性与绝缘性都优于金属基板,更适合功率电子产品封装,已成为大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料,广泛应用于LED、汽车电子、航天航空及军用电子组件、激光等工业电子领域对于陶瓷基板,需要通过其实现电气连接,因此金属化对陶瓷基板的制作而言是至关重要的一环,根据制备工艺及金属化方法不同,现阶段常见的陶瓷基板种类共有HTCC、LTCC、DPC、DBC和AMB等。
HTCC(HighTemperatureCo-firedCeramic,高温共烧陶瓷):属于较早发展的技术,是采用陶瓷与高熔点的W、Mo等金属图案进行共烧获得的多层陶瓷基板但由于烧结温度较高使其电极材料的选择受限,且制作成本相对昂,促使了LTCC的发展;LTCC(LowTemperatureCo-firedCeramic,低温共烧陶瓷):LTCC技术共烧温度降至约850℃,通过将多个印有金属图案的陶瓷膜片堆叠共烧,实现电路在三维空间布线;DPC(DirectPlatingCopper,直接镀铜):是在陶瓷薄膜工艺加工基础上发展起来的陶瓷电路加工工艺以陶瓷作为线路的基板,采用溅镀工艺于基板表面复合金属层,并以电镀和光刻工艺形成电路;DBC(DirectBondedCopper,直接覆铜):通过热熔式粘合法,在高温下将铜箔直接烧结到Al2O3和AlN陶瓷表面而制成复合基板;AMB(ActiveMetalBrazing,活性金属钎焊):AMB是在DBC技术的基础上发展而来的,在800℃左右的高温下,含有活性元素Ti、Zr的AgCu焊料在陶瓷和金属的界面润湿并反应,从而实现陶瓷与金属异质键合与传统产品相比,AMB陶瓷基板是靠陶瓷与活性金属焊膏在高温下进行化学反应来实现结合,因此其结合强度更高,可靠性更好,极适用于连接器或对电流承载大、散热要求高的场景。
常用电子封装陶瓷基片材料包括氧化铝(Al2O3)、氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氧化铍(BeO)、氮化硼(BN)等Al2O3和AlN综合性能较好,分别在低端和高端陶瓷基板市场占据主流,而Si3N4基板由于综合性能突出,在高功率、大温变电力电子器件(如IGBT)封装领域发挥重要作用从目前市场综合价格和产品性能来看,Al2O3和AlN是最常见的两种基板虽然AlN的价格是Al2O3的4倍左右,但由于其高导热性和更好的散热性能,AlN是目前最常用的基板,其次是Al2O3三、 着力推动城乡区域协调发展提升省会城市功能和中心城市首位度(一)全方位融入长三角高质量一体化落实长三角区域一体化发展国家战略,加快建设在全国具有示范典型意义的现代化都市圈,提升南京战略枢纽地位,争创国家中心城市1、主动服务对接上海发展深度融入长三角一体化发展格局,主动服务和支持上海发挥龙头作用,共同支撑以上海为中心的长三角世界级城市群建设对接上海科技成果转化和现代金融、研发设计、高端中介服务等外溢功能,提升南京在区域及全球体系中的地位2、建设现代化都市圈典范加快南京都市圈建设,着力培育具有重要影响力的产业创新高地、长江经济带重要的资源配置中心、全国同城化发展样板区和高品质宜居生活圈,提升都市圈整体实力和竞争力。
3、聚力推进宁镇扬一体化借鉴推广长三角生态绿色一体化发展示范区建设经验,更高质量推进宁镇扬一体化4、推进区域深度交流合作打造沪宁产业创新带,推进沪宁沿线人才创新走廊建设,联合组织大科学计划、大科学工程和共性技术攻关,打造国内外领先的技术创新、产品研发、成果转化、科技服务等综合型平台二)以功能引领市域格局优化落实区域协调发展战略、主体功能区战略,优化国土空间布局,完善城市功能品质,更大力度促进城乡融合发展,加快提升城市综合承载和资源优化配置能力1、构建国土空间开发保护新格局坚持“东西南北中”协调并进,逐步构建“南北田园、中部都市、拥江发展、城乡融合”的总体布局2、强化“一核三极”战略功能引领优化城市功能梯度,构建以江南主城区为“主核”、江北新区为“主城拓展极”、紫东地区为“创新引领极”、南部片区为“新兴增长极”的“一核三极”重点功能布局3、提升重点地区的功能承载能力展示标志片区新形象推动河西地区建设具有全国和全球影响的现代化国际性城市中心,提升金融服务业集聚度,积极推进数字经济产业发展,打造总部经济、开放型经济发展高地,建设中央活力区4、促进南北区域门户高质量崛起做优做特六合“北大门”加快推进雄州中心区马营、灵岩山等片区开发建设,加快发展创新经济和文旅产业。
高品质建设龙袍新城,按照“公园城市”理念,优化布局生态生产生活空间,建成南京东部地区南北大走廊重要连接点、宁镇扬一体化对扬州方向辐射传导区做美做靓高淳“南大门”深化高淳经开区与南京经开区等园区伙伴合作关系,做大医疗器械产业规模,2025年建成千亿级产业基地三)全面提升城市发展品质坚持“人民城市人民建、人民城市为人民”理念,打造高品质精致城市,更好展示美丽古都风貌,不断满足人民群众对美好生活向往的需要1、加快转变城市发展方式推动城市布局由主城集聚向市域协同转变推动城市多中心发展,建设产城融合、职住平衡、生态宜居、交通便利的郊区新城2、协同推进新型城市建设实施幸福宜居品质提升行动,建设宜居、韧性、智慧、绿色、人文城市,创建国家现代化试点城市实施“宜居住区”工程,加快既有住宅增设电梯、适老化改造、物业管理水平提升等工作,完善老旧社区市政配套、环境卫生、公共服务等设施体系,提高住宅小区综合治理水平,推动一批老城公共空间“微更新”,鼓励有条件地区打造多场景复合的“未来社区”3、提高城市综合管理水平坚持党建引领、重心下移、科技赋能,不断提升城市治理的科学化精细化智能化水平四)提高新型城镇化发展质量在全市城镇化水平总体进入稳定阶段的新背景下,深入实施以促进人的城镇化为核心、提高质量为导向的新型城镇化战略,缩小城乡发展差距,加快城乡等值化进程。
1、强化新城新市镇重要载体支撑建设一批产业特色鲜明、区域辐射功能较强的郊区新城,引导全市重大功能性项目、重大基础设施优先向新城布局,发挥新城集聚人口、带动新型城镇化的重要作用。