设备1 X射线光电子能谱仪技术要求及功能描述多功能型X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectrometer,简称XPS是基础的表面分析工具，在化学、化工、新材料、电子工业、能源、冶金、 生 物医学和环境科学中被广泛应用多功能型X射线光电子能谱仪以XPS分析系统作为主机基本单元，可以兼容紫外光电子能谱（UPS、离子散射谱（ISS）、无损深度 分析等其他表面分析技术适于各类具有粉末、薄膜、纤维和块体等不同形态的金属、非金属、半导体、氧化物和化合物、复合材料、纳米材料以及生物材料的表面几个原子层（1? 10 nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性等的分析与表征一、系统主要结构和功能要求1 .主体结构：两室结构，分别是分析室和样品预处理室兼进样室；2 .主要功能：单色化 XPS微区XPS双阳极XPS平行成像XPS ARXPSI分 辨分析、 自动化五轴样品台、超高真空测量装置等功能，并配备实现这些功能的部件二、主要技术指标1 .单色化X射线源1.1 射线源类型：水冷微聚焦单色化Al K aX射线源（供货商必须提供米用最先进的单色化射线源）*1.2 Al K a射线源运行功率：不低于 100W1.3 能量分辨率和灵敏度（正常工作条件下）：对Ag3d5/2峰，半高宽优于0.5eV1.4 灵敏度：1.4.1 大束斑能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨优于0.5eV时，计数率强度局于400kcps1.4.2 小束斑能量分辨率和灵敏度：Ag3d5/2分辨率优于0.5eV时，计数率强度 高于 500cps ,计数率越高越好1.5 最小获谱束斑： w 20 Pm*1.6小束斑选区方式：虚拟探针扫描、阳极靶电子束移动或其它机械选区的样品扫描方式选区分析*1.7单色化光源的阳极靶可移动，在阳极靶更换前应可提供不少于18个工作点 使用，靶点越多越好，确保阳极靶的长期、稳定使用，无需更换;2 .非单色化X射线光源2.1 射线源类型：Al/Mg （或Zr/Mg ）双阳极X射线源2.2 功率：单源功率均不低于 400W2.3 能量分辨率和灵敏度2.3.1 能量分辨率及灵敏度：对 Ag 3d5/2峰，能量分辨优于0.8eV时，灵敏度 优于650,000 cps3 .闫匕量分析器3.1 能量分析器：米谱能量分析器：外罩为纯金属制造；1800半球能量分析器3.2 平均半径：50mm半径3.3 米谱操作模式：固定分析器能量（CAE和固定减速比（CRR两种模式*3.4成像操作模式：XPI化学成像模式或XPS Mapping成像模式3.5 快速成像能量分辨率：和米谱模式保持完全一致3.6 具备X射线激发的SXI影像，可在图放大倍率下对样品分析点进行定位4 .匕匕量分析器*4.1能量扫描范围应不小于0? 3200eV,范围越宽越好4.2 通过能范围应不小于2? 120eV,并可连续调节，调节范围越宽越好，调节步长越小越好，便于XPS采谱精细设定4.3 扫描方式：虚拟探针扫描或其它机械选区的样品扫描方式5 .光电子探测系统*5.1类型：电子倍增器和微通道板探测器的双探测器独立式设计或多通道MCP探测器5.2功能：可实现常规采谱、成像6 .真空系统*6.1分析室：真空腔为 口金属或双层口金属制造，真空度优于 5X 10-10mbar6.2 分析室真空泵：独立的机械泵、分子涡轮泵（或离子泵）及钛升华泵组合，抽速》250L/S6.3 预处理室：抗磁不锈钢制造，真空度应优于 7.0 X 10-9 mbar*6.4预处理室真空泵：独立的磁悬浮涡轮分子泵和独立的机械泵，抽速》 200L/S6.5 预处理室法兰口：预留多个标准法兰口，可用于扩展安装多位样品停放台、加热冷却台、高温高压反应室、样品断裂台、快速进样锁和预冷器等装置6.6 超高真空监控：超高真空规及控制单元1套7 .荷电中和系统7.1 结构及操作方式：磁透镜+同轴电子枪+离轴低能离子/电子枪设计或者离子 枪+低 能用子枪的双枪双束中和方式，适用所有不导用样品及粗糙表面的精准荷技术要求及功能描述电中和7.2厘工子源：（非）准宜也子源7.3操作方式：全自动一键（ON/OFF操作即可，无需调节电压、束流、气压等 参数7.4中和效果（PET样品的育■分辨率和灵敏度）：对 PET绝缘样品，在O-C-C结 构中C1s峰育■分辨（FWHM优于0.82 eV时，C-C结构中C1s峰的灵敏度（正 常 工作条件下的真实测量值）优于 60,000cps8.离子刻蚀枪8.1离子源：Ar源和He源8.2束斑大小：连续可调8.3最大束流：》5识8.4离子育约:：100eV~4keV 连续可调；9.配备反射电子育第损失谱（REELS扩展分析功能，弥补XPSF能分析H兀素的不 足10.离子散射谱：在1keV He离子作用于清洁金表面时，育提分辨优于12eV,灵敏度应优于15,000cps/nA11.无损深度剖析：具备最大嫡方法无损表面深度剖析重构功能，可以在不刻蚀 破坏样品的情况下，获得样品表面几个纳米深度的元素分布信息12.电磁场兼容性：12.1可承受最大静态磁场：》50 P T12.2可承受最大交变磁场：》0.28 P T12.3可承受最大交变电场：》5V/m13样品台系统13.1轴向：5轴样品台，可实现X、Y、Z方向的移动，以及倾斜和旋转的五轴 联 动，以及常中心定位13.2移动范围：X方向》50mm 丫方向》20mm Z方向＞1 0mm13.3倾斜范围：以水平方向为轴― 90o? + 60o,角度分辨=±1o13.4旋转范围：0~360o13.5样品观察和调整：变焦 CCD摄像机观察，全自动调整13.6目视观察窗：防X射线玻璃制造，至少2个，位于水平线以上14.谱仪控制和数据处理14.1软件界面：操作简易的全自动计算机控制可视化图形界面14.2谱仪控制：系统软件可数字化控制谱仪主机单元的关键部件，以及各真空泵、阀门、光阑、光圈、荷电中和系统、离子枪和加热冷却等功能部件；可通过快速谱自动确定样品最佳分析高度；可进行编程自动测试；可进行远程诊断和系ST控制；可设定不同优先度的使用权限1.3 3安全功能：真空、高压、冷却系统的报错和锁定，有效避免误操作1.4 4数据处理：性分析、量分析、曲线拟合等兀备的XPS数据处理功能，包括多种智能本底扣除方法，常规曲线拟合和锁定参数的关联曲线拟合，可实现深度剖析XPS角分辨XPS无损深度分析重构、其他相关的谱仪数据处理功能如UPS，据的处理等；数据处理软件可安装在主机外的其他计算机上使用1.5 5 XPS成像处理功能：XPS快速化学像的化学状态的分布显示和定量计算，图 一 上重构等全面数据和图像处理功能1.6 6数据库：完整的XPS和其它相关谱仪完整数据库，终身免费升级。
1.7 7数据格式：测试数据包括原始数据及分析结果可存为通用格式1.8 8计算机两台配置：一台预装数据米集和处理软件包，另一台处理及拷贝数据用，当前主流配置，四核 CPU （i7处理器，主频3.4 ）,内存8G硬盘不小于1T,双显 示屏（24寸以上液晶显示屏），带 DVD亥ij录机，正版 Window操作系统，HP打印 机一台15 .烘烤系统：集成于系统内部，最高烘烤温度不低于120 C16 .电气控制柜：与以上系统相关联的电气控制柜17 .循环冷却水系统：静音内循环冷却水系统，满足阳极靶、石英单色器和磁悬浮涡轮分子泵冷却的需要18 .不间断电源系统：具备隔离变压器的稳压不间断电源一套，保证仪器整机在断电情况下可持续运行至少2小时19 .精密气路：普氮1瓶，高纯氮（99.99% ） 1瓶，高纯氤（99.99% ） 1瓶；内抛光不锈钢管，长度由仪器与气瓶间距离决定；精密气体减压阀 3个二、随机工具、备件和资料1 .标准工具：标准工具包1套，标准样品1套，冷阴极规维护套件1套；盒装 手套1 "等；2 .随机备件：含3年以上消耗品的备件包，至少应包括单色器灯丝，双阳极灯 丝，离 子枪灯丝，荷电中和器灯丝各 1根；单色器阳极靶镀膜1次；照明灯泡1个；去离子 水滤芯1个；水流量计传感器1个；各种真空垫圈1套；3 .相关资料3.1 谱仪操作指南和维护说明书及其光盘；3.2 制造商所能提供的全部真空系统图；3.3 制造商所能提供的全部机械系统装配图；3.4 制造商所能提供的全部电子学线路图；3.5 XPS标准谱图手册。
四、保修、维修以及软件升级1 .保修期：自验收合格之日起三年在保修期到前一个月安排工程师对谱仪进行检修和维护、排除潜在问题，并向用户提交检修维护报告；2 .维修响应：接到用户报修2小时内响应，确认需要维修时工程师于 24小时内 到现 场；3 .软件升级：在不涉及硬件升级的情况下终生免费升级控制和数据处理软件； 五、服务能力、安装与培训1 .技术服务团队组成：供货厂商拥有完善的全球售后服务体系以及本土专业化XPS技术服务团队，且团队中应有非兼职的国家认可正高职职称技术人员；2 .技术服务团队能力：本土专业化 XPS技术服务团队应具备独立的安装调试能 力和 兀件级维修水平；3 .安装时间：到货2周内安排工程师赴用户现场进仃开相和安装；4 .操作和基础应用培训：厂商提供至少为期 2周的操作和基础应用培训，学会 为止；5 .局级应用培训：厂商安排资深专家为用户提供局级应用培训；6 .场地环境检测及布局设计：仪器到货至少 1个月前安排工程师赴客户指定地 点进行 场地环境检测及布局设计六、交货地点：七、交货期：*为必须满足的关键性技术指标政府米购进口产品专家论证意见一、基本情况申请单位河南师范大学”米购产品名称X射线光电子能谱仪（XPS拟米购产品金额采购项目所属项目名称学科建设，购项目所属项目金额一、申请理由口 1.中国境内无法获取：口 2.无法以合理的商业条件获取：/因阐述：1.必要性：X射线光电子能谱仪（简称XPS是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器，主要用于固体材料表面（2? 3nm深度）兀素成分和价态的JE性和JE量分析。
XPS与成像功能和离子溅射刻蚀相结合，可用于固体表面兀素成分及价态的面分布和深度剖析；XPS在各类功能薄膜的机理研究、纳米材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、催化剂研究与失效分析等方面具有不可替代的乍用 2.科研方面需求： 目前我校拥有国豕级一类特色专业和河南省重点学科，如绿色化学介质与反应教育部重点实验室，河南省动力电源及关键材料工程技术研究中心等，承担了多项国家级及省部级重大科研项目，学科范围涵盖无机、有机、分析、物化、化工、制药及高分子化学等领域经常需用XPS对固体材料表面兀素成分及化学价态定性、定品分析，特别是新型XPS具备化学态成像及深度剖析能力，可认得表面成分分布及纵深方向的信息每年到外单位测试的样品数量很大，花费高且测试周期长，严重影响了科研工作的正常进行XPS可广泛用于催化剂研究及失效分析、无机材料、聚合物、制药等各种材料的研究，以及合成、催化、包覆、腐蚀、药性变化等过程的研究有关信息可为调控材料制备工艺及功能提供直接依据目前河南省及我校学科平台较缺之固体表面成分及化学态分析手段购买该设备无疑会对河南师范大学的教学和科研有重要的促进作用，为我校进一步稳定和引进高层次人才搭建先进的研,平台，对提升我校的知名度起到积极的作用。
目前全球制造XPS的代表性厂家及其主要型号为：美国赛默飞世尔科技公司的ESCALAE250 Xi,日本 Ulvac-Phi公司的 Versaprobe II ,英国岛津 Kratos公司的 AXIS Ultra DLD o 它们性能优 越且操作简单方便，与功能强大的数据处理软件相结合，可用于固体材料的表面分析，获得元素组成、化学状态、面分布以及深度剖析等信息综上所述，为满足我校教学和科研的需求，急需购置1台X射线光电子能谱仪建议购买该类进口设备三、专家论证意见专家信息：王水菊.厦门大学，离级工程师0*勿专家意见：中请单位拟购置的 X射线光电子能谱仪系统用于材料表而分析，可 获得元索组分.化 学状态.面分布以及深度剖析侑息同时可以对样品进行加热、制冷.代固反应、镀膜等处理实现更广泛分析和研究开展高水平的研究工作需 要高性能的设备平台.建议购买该进口设备专家意见：该设鱼号广泛应用于材料科学领域的奇技术分祈仪器，主曼用丽体材料的表而（2? 3nm深度）元靠成分和价态的定性和碗分析在现代科学百 技术研究中.持别在高分子材料 构分析-各类功能薄膜的机理研究、纳米材料分 析.复合功能材料研究等方面，XPS往往是不可缺 少的大型分析仪器。
蝮丁 ？河南 师范大学承担了很多国家级科研项口 .需要开展高水口的科研丁作， 建议购买XPSo专家信息：王毅，中科院过程工程研究所，研究员 彳披专家意见：XPS是材料衣面分析技术的最先进方法，不仅可以测试元素组分 ？化 学状态、面分布 以及深度剖析信息，同时可以对样品进行加热 ？制冷、气固反应-镀膜等处理实现更广泛分析和研 究这对于材料结构和构想的判断非常重要目 前本省XPS设备紧缺，不能满足申诸单位、兄弟 院校及研究所科研的要求，特 别是同水平研究工作的测试数据要得到国内外专家认可，目询仅河 南犬学使用该 进口仪器设备，建议同慈采购该产品技术专家总见：XPS可以给出材料的元素组分及化学状态，丰富使川冷对样品的 认知，目询国内 各大岛校开展相关研究工作的实验室所购买的仪器，均为仪器测 试高效.杲^度高、检测范围广的 进口设备，河南帅范大学现有仪器不能满足教 学和科研的耍求申请单位此次购誉申请的原因阐I专家信息：王人山，中国科学院化学研究所？副研究员2ns述充分？调查清楚，采购 XPS设备是很有必要的，建议购买专家信息：闫东伟，安泰科技股份有限公司，岛级工程师 I耳《4”技术除意见：XPS是广泛用于 材料科学研究的高技处分析仪农，不U又能够测定固体表面元素成分、化学状念、面分布等，还能够将成像功能和离子溅射刻蚀技 术相结合给出表面深度剖析的信息。
在各类功能薄膜的机理研究、 纳米材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护等方面具有不可替代的作用鉴于河南师范大学承担了多项国家级和省部级重点科研项目，需要开展大量离水平科学研究工作，建议购买测试高效、灵敏度高、适用范围广的进口设备-设备2紫外光化学反应器一、技术规格及要求1设备的总体要求1.1 安全一全系列风扇冷却设计，无冷却水危险性,无高压危险1.2 经济一长时效灯管，平均寿命约 3000小时（2537A灯管），光强度约1.65x10 Photons/sec/cm （2537 灯管）1.3多功能一可随时更换不同波长灯管（1849/2537A, 2537A, 3000A, 3500A, 4150A,5750A）2.主要技术参数* 2.1样品室尺寸：直径16寸，深12寸* 2.2灯管数1849/2537AO : 16 根2537 AO :16 根3000 AO :16 根3500 AO :心根 164190 AO :16 根5750 AO :16 根* 2.3反应器放置方式：垂直与水平放置1.4 冷却方式：风冷1.5 样品支撑杆：1根1.6 电源：220V,50Hz3 .设备组成：反应器主机1台灯管96支冷却风扇1个样品支架1个旋转木马1个供电电源1个4 ,附件和易损件清单：灯管5 .仪器使用环境和安装条件：电压：220V ± 1 0%频率：50Hz使用环境：无特殊要求 电压波动范围：土 10%二、人员培训；.1人员培训：① 技术培训内容：由卖方免费对买方、操作者、维修人员进行设备操作、维修保养的 培训，保证买方能熟练正确地使用设备。
如在买方现场验收过程中发生故障，重新开始计算质保期时间② 上述验收与培训所发生的费用由卖方负责三、售后服务要求：1 、 设备质量保证期为 12 个月（自用户最终验收签字生效之日算起） ；质保期内由于卖方设计、制造、运输、安装及调试原因造成的零部件损坏，卖方无偿予以更换；由 于用户原因造成的零部件损坏，卖方有偿提供备件，并免费更换2 质保期满后卖方为买方优惠供应备件与易损件 （ 只收成本费、不能高于双方签署技术协议所列清单内价格） 3 保修期满后，卖方仍应提供优质服务，在接到买方通知后， 24 小时内答复四、提供文件要求：卖方提供资料，包括以下内容：1 设备验收标准2 、资料原件一套、操作使用说明3 、备件和易损件清单4 、合格证政府采购进口产品专家论证意见申请羊位河南师范大学（化学化工学院）拟采购产品名称紫外光化学反应器拟采购产品金额采购项目所属项目名称采购项目所属项目金额:、申请理由I、中国境内无法获取V2、无法以合理的商业条件获取3、其也原因阐述：光反应器是“绿色介质与反应教育部重点实验室”所需的重要设备之一，该实验室是研究绿色材料、绿色反应介质以及绿色有机化学反应的重要平台光反应器的购置不仅可以提升实验室在研究绿色材料、东录色反应介质以及绿色有机化学反应的实力和水平，还可以满足环境科学、物理学中光学相关专业等多个单位的多个学科的教学、实验需要，为我 校环境科学、物理学、应用化学等专业本科生的毕业设计、科技创 新活动和硕、博士研究 生论文的课题任务服务。
从而促进学校范围内相关学科领域之间的合作与交流及以 扩大和 提高学校在国内外的学术地位，提升学校的影响力，早日实现建设高水平综合性大学的目标进口光反应器的技术指标高，比如：散热好，能长时间稳定工作，光源稳定，寿命长，安全性高，体积小且进口设备采用旋转式的光源设计，能够保证被照射物质各部分实时接受相等强度的光源照射，这一点对于光反应非常重要另外进口光反应器采用模块化设计，维修、维护都很方便更重要的是用户可以在使用过程中根据自己的研究需要进行光源的 更换目前国内的光反应器满足不了高水平的实验的需要三、专家论证意见:河南师范大学化学化工学院组织了以韩布兴教授为组长的设备购置论证会，专家们结合实验室的研究工作，形成如下意见：专家1 : 口光反应器可方便的更换不同波长的光源，如 1849/2537A. 2537A, 3000A.3500A. 4150A. 5750A这一性能国产设备无法满足建议采购进口设备专家姓名/职称：毕锡和/教授匚作单位：东北师范大学专家2:进口光反应器采用风冷代替国产设备的水冷散热方式 .即使是停水也能长时间稳 定工作，安 全性更高，建议采购进口设备专家姓名/职称：刘群/教授 工作单位：东北师范大学专家3进口光反应器光源波长稳定，寿命长，且采用旋转式的光源设计，能够保证被照射物质各部分实时接受相等强度的光源照射，这一点对于光反应非常巫要。
国产设备光源寿命知.辎照强度不足，不均匀，不能保证被照射物质各部分实时接受相等强度的光源照射，建议采购进口设备I令家姓名/职称：张前7教授张的r * I M I「？作单位：东北师范大学 专家4:进口光反应器体枳小，采用模块化设计，维修利维护都很方 便，另外仪器金属部 件在实验室中耐腐蚀等较好，质量可靠建议采购进口设备专家姓名：张晓解/副教授工作单位：大连大学专家5:进口光反应器光源辐照强度稳定、均匀、寿命长，旋转式的光源设计能够保证被照射物质各部分实时接受相等强度的光源照射建议采购进口设备专家姓名/职称：懂得文/研究员瞳得炙?作单位：长春应用化学研究所。