三坐标测量机浅介 三坐标测量机浅介第一章、谢菲尔德（Sheffield）简介第二章、海克斯康简介第三章、三坐标测量机(CMM)第三章、DISCOVERY D12 CMM第四章、Brown&Sharpe Global CMM第五章、Brown&Sharpe Global Plus CMM第六章、MISTRAL070705 CMM三坐标测量机浅介n谢菲尔德简介n海克斯康简介三坐标测量机浅介谢菲尔德简介1Sheffield公司n1906年成立，由Oscar Polk 创建 n1933年公司更名为Sheffield Gage CorporationnSheffield拥有自己的坐标测量机设计和制造中心，在Fond DU Lac,Wisconsin拥有9500平方米的厂房n目前，公司隶属于Hexagon 计量集团三坐标测量机浅介谢菲尔德简介1Sheffield出品n1965年公司生产出第一台Cordax CMM.是世界上第一台实际意义上的三轴CMMn拥有 Endeavor 和Discovery 两大主产nDiscovery：机器性能：可控性好稳定性强；速度性强三轴分别由伺服马达(Servo)驱动。
伺服电动机，也叫执行电动机，它服从控制信号的要求而动作的职能其特点：信号到来之前，转子不动；信号到来之后，转子立即转动；信号消失，转子立即停止转动三坐标测量机浅介海克斯康简介nHEXAGON集团n海克斯康测量技术(青岛)有限公司三坐标测量机浅介海克斯康简介1HEXAGON集团n1992年成立n总部瑞典斯德哥尔摩n核心业务：计量，工业自动化，工程技术，化工n2001年Brown&Sharpe 与Wilcox 公司并入海克斯康集团，海克斯康计量成立三坐标测量机浅介海克斯康简介2海克斯康测量技术(青岛)有限公司n 海克斯康中国区总部n 是瑞典HEXAGON与中国航空工业第二集团公司下属青岛前哨精密机械公司共同投资在中国组建的合资公司,海克斯康公司的前身是青岛前哨朗普测量技术有限公司,即Brown&Sharpe前哨.Brown&Sharpe前哨的前身是青岛英柯发测量设备有限公司.(1998年前哨与Brown&Sharpe合资成立Brown&Sharpe 前哨,2004年Brown&Sharpe 前哨更名为海克斯康)n 海克斯康计量产业集团的核心成员n 海克斯康计量产业集团13个测量产品制造基地之一n 与美国Brown&Sharpe公司、意大利DEA公司、德国LEITZ公司、瑞典CE JOHANSSAN公司并列，为世界五大测量机制造基地之一三坐标测量机(CMM)n三坐标测量机基本概念n三坐标测量机的发展史n三坐标测量机组成n三坐标测量机的使用n三坐标测量机的用途 n三坐标测量机类型n三坐标测量机保养n三坐标测量机品牌n影响三坐标测量机测量精度的因素三坐标测量机三坐标测量机基本概念n三坐标测量仪也可定义为一种具有可作三个方向移动的探测器,可在三个相互垂直的导轨上移动,探测器以接触或非接触等方式采集传送讯号,三个轴的位移测量系统 (如光栅尺 )经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项功能测量的仪器.三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、几何精度及轮廓精度，逆向工程等.三坐标测量机三坐标测量机基本概念n三坐标测量机是基于坐标测量的通用化数字测量设备。
它首先将各被测几何元素的测量转化为对这些几何元素上一些点集坐标位置的测量，在测得这些点的坐标位置后，再根据这些点的空间坐标值，经过数学运算求出其尺寸和形位误差数控测量工作的实质是将模拟量转化为数值量三坐标测量机三坐标测量机基本概念n将被测物体置于三坐标测量空间，根据测量任务采集被测对象的若干点的三维空间坐标值，由这些点的空间坐标值，通过计算求出被测物体的几何尺寸、形状或几何要素的空间位置三坐标测量机三坐标测量机基本概念三坐标测量机三坐标测量机基本概念n坐标测量机的三个运动轴x、y、z及分别安装于其上的3把测量尺(光栅尺)，在整个测量空间建立起一个笛卡尔直角坐标系(图a中的OMxMyMzM)，通常称这个坐标系为机器坐标系机器坐标系，一切测量运动都在这个坐标系中进行在测量空间的被测工件上各要素的被测部位由测头进行瞄准，测头的运动位置由3把测量尺记录，并由3个相应的读数头读出具体坐标值，然后将测量信号反馈到计算机进行储存，计算机及其相应软件将对测量数据进行计算、处理和输出三坐标测量机三坐标测量机基本概念n三坐标即三坐标测量机，它是指在三维可测的空间范围内，能够根据测头系统返回的点数据，通过三坐标的软件系统计算各类几何形状、尺寸等测量能力的仪器 n坐标测量机的定义：通过测头系统与工件的相对移动，探测工件表面点三维坐标的测量系统。
将被测物体置于三坐标测量机的测量空间，可获得被测物体上各测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，由软件进行数学运算，求出待测的几何尺寸和形状、位置三坐标测量机三坐标测量机基本概念n三坐标测量机的测量过程,是由测头通过三个坐标轴导轨在三个空间方向自由移动实现的，在测量范围内可到达任意一个测点三个轴的测量系统可以测出测点在X，Y，Z三个方向上的精确坐标位置根据被测几何型面上若干个测点的坐标值即可计算出待测的几何尺寸和形位误差另外，在测量工作台上，还可以配置绕Z 轴旋转的分度转台和绕X 轴旋转的带顶尖座的分度头，以方便螺纹、齿轮、凸轮等的测量三坐标测量机三坐标测量机基本概念n所谓“次元”其实可以简单解释为事物于一个空间里面的层次表现，就好像我们所存在的立体三维空间，里面所包含的事物都有其本身的质量及体积，而构成体积则要有长度、阔度与及高度等要素事物由最初的一点伸延为线(第一次元)，然后由线伸延成面(第二次元)，再由面伸延成为立体(第三次元)人类文化 上的物理学都建基于这三维空间里面，但当事物发展到立体层面(第三次元)后又能否再伸延发展下去呢？而于立体之上还有更高层次的存在吗？答案是有的，但是就需要换一个角度去观察三坐标测量机三坐标测量机基本概念n三次元称呼影像式三次元,cnc三次元,影像三次元,经济型三次元,光学影像测量仪,龙门型三次元,cnc全自动大行程三次元,非接触三次元,光学三坐标测量机,三坐标测量仪,三维坐标,光学三次元,探针型三次元,经济型手动三次元测量机,高精度全自动三次元测量机,计量型三次元测量机,三次元测量机,二次元测量仪,三次元测量仪,三次元,活动桥式三次元测量机,固定桥式三次元测量仪 三坐标测量机三坐标测量机基本概念n次元是指测量长度的基准轴。
按照轴的个数划分为几次元，通常有以下几种：一维（1D）工具：游标卡尺、千分尺、高度尺等特点：有一个标有刻度的轴二维（2D）工具：工具显微镜、投影仪等特点：有两个标有刻度的轴组合在一起，有感知位置的敏感装置，可以同时读取两轴的数据三维（3D）工具：三坐标测量机CMM（Coordinate Measure machine三坐标测量机三坐标测量机基本概念n三坐标测量机是由三个正交的直线运动轴构成的，这三个坐标轴的相互配置位置（即总体结构形式）对测量机的精度以及对被测工件的适用性影响较大三坐标测量机三坐标测量机基本概念r21项误差的测量可以使用不同的测量仪器进行检测以便于修正，项误差的测量可以使用不同的测量仪器进行检测以便于修正，包括双频激光干涩仪、电子水平仪、直角尺、高精度电感测微仪包括双频激光干涩仪、电子水平仪、直角尺、高精度电感测微仪但是，需要注意的是，使用上述仪器测量参数误差时，测量结果但是，需要注意的是，使用上述仪器测量参数误差时，测量结果可能是几种参数误差的综合结果这可能是几种参数误差的综合结果这21项中有：项中有：r(1)X、Y、Z三个方向的位置度三个方向的位置度r(2)沿沿X、Y、Z三个方向运动时的三个方向运动时的6个直线个直线(3 x 2)r(3)沿沿X、Y、Z三方向运动时自转、俯仰、方向九个角摆。
三方向运动时自转、俯仰、方向九个角摆r(4)X、Y、Z各轴间各轴间3个垂直度个垂直度r 对于平臂测量机则为对于平臂测量机则为24项误差，即加上水平臂伸出时的政策垂项误差，即加上水平臂伸出时的政策垂量误差三坐标测量机三坐标测量机基本概念n三坐标测量机的概念n21项误差项误差|21项误差补偿项误差补偿|三坐标验收标准三坐标验收标准 首先搞清楚首先搞清楚21项误差是那些误差；因为测量机都是气浮的，按照气浮的项误差是那些误差；因为测量机都是气浮的，按照气浮的误差产生种类分为转动误差和平动误差，按照不同的旋转轴向和平动方误差产生种类分为转动误差和平动误差，按照不同的旋转轴向和平动方向每轴共有向每轴共有6项误差，三轴共项误差，三轴共18项，加上三轴的垂直度共计项，加上三轴的垂直度共计21项；习惯项；习惯上把旋转误差叫角摆误差，平动误差叫做直线度误差和定位精度；上把旋转误差叫角摆误差，平动误差叫做直线度误差和定位精度；角摆的补偿方法是用电子水平仪和光管，这些误差只能检测出来进行补角摆的补偿方法是用电子水平仪和光管，这些误差只能检测出来进行补偿，在电脑软件中建立正确的数学模型，所以只有补偿没有检测；直线偿，在电脑软件中建立正确的数学模型，所以只有补偿没有检测；直线度是使用千分表和花岗岩直尺检测；定位精度使用双频激光干涉仪补偿；度是使用千分表和花岗岩直尺检测；定位精度使用双频激光干涉仪补偿；检测是使用不低于三等精度的量块，垂直度也同样使用量块；如果镜头检测是使用不低于三等精度的量块，垂直度也同样使用量块；如果镜头齐全，齐全，18项补偿都可以使用双频激光干涉仪补偿；项补偿都可以使用双频激光干涉仪补偿；按照现在的国家标准，检测时是使用最长不短于全量程按照现在的国家标准，检测时是使用最长不短于全量程2/3的量块，最的量块，最长长1米，最短不长于米，最短不长于30mm的的5块量块打块量块打7个位置，共计个位置，共计105块，全部符合块，全部符合要求才能算是精度合格；详细内容可以查看要求才能算是精度合格；详细内容可以查看iso10360标准。
标准三坐标测量机三坐标测量机发展史n三坐标测量机（Coordinate Measuring Machining，简称 CMM）是20世纪60年代发展起来的一种新型高效的精密测量仪器它的出现，一方面是由于自动机床、数控机床高效率加工以及越来越多复杂形状零件加工需要有快速可靠的测量设备与之配套；另一方面是由于电子技术、计算机技术、数字控制技术以及精密加工技术的发展为三坐标测量机的产生提供了技术基础三坐标测量机三坐标测量机发展史n1960年，英国FERRANTI公司研制成功世界上第一台三坐标测量机，到20世纪60年代末，已有近十个国家的三十多家公司在生产CMM，不过这一时期的CMM尚处于初级阶段进入20世纪80年代后，以ZEISS、LEITZ、DEA、LK、三丰、SIP、FERRANTI、MOORE等为代表的众多公司不断推出新产品，使得CMM的发展速度加快现代CMM不仅能在计算机控制下完成各种复杂测量，而且可以通过与数控机床交换信息，实现对加工的控制，并且还可以根据测量数据，实现反求工程三坐标测量机三坐标测量机发展史n第一代：世界上第一台测量机是英国的FERRANTI公司于1959年研制成功的。
当时的测量方式是测头接触工件后，靠脚踏板来记录当前坐标值，然后使用计算器来计算元素间的位置关系1964年，瑞士SIP公司开始使用软件来计算两点间的距离，开始了利用软件进行测量数据计算的时代70年代初，德国ZEISS公司使用计算机辅助工件坐标系代替机械对准，从此测量机具备了对工件基本几何元素尺寸、形位公差的检测功能三坐标测量机三坐标测量机发展史n第二代：随着计算机的飞速发展，测量机技术进入了CNC控制机时代，完成了复杂机械零件的测量和空间自由曲线曲面的测量，测量模式增加和完善了自学习功能，改善了人机界面，使用专门测量语言，提高了测量程序的开发效率三坐标测量机三坐标测量机发展史n第三代：从90年代开始，随着工业制造行业向集成化、柔性化和信息化发展，产品的设计、制造和检测趋向一体化，这就对作为检测设备的三坐标测量机提出了更高的要求，从而提出了第三代测量机的概念其特点是：1、具有与外界设备通讯的功能2、具有与CAD系统直接对话的标准数据协议格式；3、硬件电路趋于集成化，并以计算机扩展卡的形式成为计算机的大型外部设备三坐标测量机三坐标测量机组成三坐标测量机三坐标测量机组成三坐标测量机三坐标测量机组成三坐标测量机三坐标测量机组成n机械系统：一般由三个正交的直线运动轴构成。
X向导轨系统装在工作台上，移动桥架横梁是Y向导轨系统，Z向导轨系统装在中央滑架内三个方向轴上均装有光栅尺用以度量各轴位移值人工驱动的手轮及机动、数控驱动的电机一般都在各轴附近用来触测被检测零件表面的测头装在Z轴端部n电子系统：一般由光栅计数系统、测头信号接口和计算机等组成，用于获得被测坐标点数据，并对数据进行处理三坐标测量机三坐标测量机组成380V测量机主体控制箱计算机手控盒打印机测 头空气压缩机冷干机UPS稳压源 220VRENISHAW测头控制盒串行线油水分离三坐标测量机三坐标测量机组成n测量机主机n控制系统n测头测座系统n计算机(测量软件)系统三坐标测量机组成测量机主机n类型n结构特点n活动桥式测量机测量机主机类型n按结构形式分类n按测量范围分类n按测量精度分类n按自动化程度(技术水平)分类测量机主机类型按结构形式分类测量机主机类型按结构形式分类n活动桥式n固定桥式n水平臂式n关节臂式(旋臂式)n高架桥式n龙门式n坐标式n仪器台式测量机主机类型n按结构形式分类活动桥式测量机主机类型按结构形式分类n活动桥式使用广泛结构简单、刚性好开敞性好、视野开阔承载能力好上下零件方便精度较高种类齐全代表机型:GLOBAL系列测量机主机类型按结构形式分类n活动桥式这种结构的X向驱动位于桥框一侧，桥框移动时易产生绕Z轴偏摆，而该结构的X向标尺也位于桥框一侧，在Y向存在较大的阿贝臂，这种偏摆会引起较大的阿贝臂误差该结构主要用于中等精度的中小机型测量机主机类型n按结构形式分类固定桥式测量机主机类型按结构形式分类n固定桥式桥架固定结构稳定刚性好三轴运动相互独立中央驱动、角摆小中心光栅阿贝误差小精度高(1.0L/350m)代表机型:ZC机、PMM机 测量机主机类型按结构形式分类n固定桥式工作台负载能力小结构敞开性不好桥框固定不动，X向标尺和驱动机构可安装在工作台下方中部，阿贝臂及工作台绕Z轴偏摆小主要部件的运动稳定性好，运动误差小主要用于高精度的中小机型测量机主机类型按结构形式分类n中心门移动式结构比较复杂敞开性一般兼具移动桥式结构承载能力强和固定桥式结构精度高的优点适用于高精度、中型尺寸以下机型测量机主机类型n按结构形式分类水平臂桥式测量机主机类型n按结构形式分类水平臂桥式测量机主机类型按结构形式分类n水平臂式X向长，Z向较高开敞性好测量范围大适用于汽车钣金件代表机型:VENTO 测量机主机类型按结构形式分类n悬臂式轻结构简单很好的敞开性滑架在悬臂上作Y向运动时，会使悬臂的变形发生变化，故测量精度不高用于测量精度要求不太高的小型测量机测量机主机类型n按结构形式分类关节臂桥式测量机主机类型按结构形式分类n关节臂式轻便灵活对环境要求低测量机主机类型按结构形式分类高架桥式测量机主机类型按结构形式分类n高架桥式大型零件测量大型模具长度长刚性好双光栅双驱动测量机主机类型n按结构形式分类龙门式测量机主机类型按结构形式分类n龙门式大型测量代表机型:ALPHA 测量机主机类型按结构形式分类n龙门式移动部分只是横梁，移动部分质量小，整个结构刚性好三个坐标测量范围较大也可保证测量精度适用于大机型立柱限制了工件装卸，单侧驱动时仍会带来较大的阿臂贝误差，而双侧驱动方式在技术上较为复杂，只有Y向跨距很大、对精度要求较高的大型测量机才采用测量机主机类型按结构形式分类n单柱移动(仪器台)式它是在工具显微镜的结构基础上发展起来的操作方便测量精度高结构复杂测量范围小适用于高精度的小型数控机型测量机主机类型按结构形式分类n单柱固定式它是在坐标镗的基础上发展起来的结构牢靠、敞开性较好工件的重量对工作台运动有影响两维平动工作台行程不可能太大仅用于测量精度中等的中小型测量机测量机主机类型按结构形式分类n横臂立柱(水平臂)式结构简单、敞开性好尺寸也可以较大因横臂前后伸出时会产生较大变形，故测量精度不高用于中、大型机型测量机主机类型按结构形式分类n横臂工作台移动式敞开性较好横臂部件质量较小工作台承载有限，在两个方向上运动范围较小适用于中等精度的中小机型测量机主机结构特点n结构简图悬臂式桥式龙门式 坐标镗床式卧式镗床式测量机主机结构特点n固定工作台悬臂式有沿着相互正交的导轨而运动的三个组成部分,装有探测系统的第一部分装在第二部分上并相对其作垂直运动第一和第二部分的总成相对第三部分作水平运动.第三部分以悬臂状被支撑在一端,并相对机座作水平运动,机座承载工件.测量机主机结构特点n移动桥式有沿着相互正交的导轨而运动的三个组成部分,装有探测系统的第一部分装在第二部分上并相对其作垂直运动第一和第二部分的总成相对第三部分作水平运动.第三部分被架在机座的对应两侧的支柱支承上,并相对机座作水平运动,机座承载工件 测量机主机结构特点n龙门式有沿着相互正交的导轨而运动的三个组成部分,装有探测系统的第一部分装在第二部分上并相对其作垂直运动第一和第二部分的总成相对第三部分作水平运动.第三部分在机座两侧的导轨上作水平运动,机座承载工件测量机主机结构特点nL型桥式式有沿着相互正交的导轨而运动的三个组成部分,装有探测系统的第一部分装在第二部分上并相对其作垂直运动第一和第二部分的总成相对第三部分作水平运动.第三部分在机座平面或低于平面上的一条导轨和在机座上另一条导轨的两条导轨上作水平运动,机座承载工件.测量机主机结构特点n固定桥式有沿着相互正交的导轨而运动的三个组成部分,装有探测系统的第一部分装在第二部分上并相对其作垂直运动第一和第二部分的总成沿着牢固装在机座两侧的桥架上端作水平运动,在第三部分上安装工件.测量机主机结构特点n移动工作台悬臂式机有沿着相互正交的导轨而运动的三个组成部分,装有探测系统的第一部分装在第二部分上并相对其作垂直运动第二部分以悬臂状被支承在端,并相对机座作水平运动第三部分相对机座作水平运动并在其上安装工件.测量机主机结构特点n柱式有两个可移动组成部分,装有探测系统的第一部分装相对机座作垂直运动第二部分装在机座上并相对其沿水平方向运动，在该部分上安装工件 测量机主机结构特点n水平悬臂移动式有沿着相互正交的导轨而运动的三个组成部分,装有探测系统的第一部分装在第二部分上并相对其作水平运动第一和第二部分的总成相对第三部分作垂直运动.第三部分相对机座作水平运动，并在其上安装工件.测量机主机结构特点n固定工作台水平悬臂式有沿着相互正交的导轨而运动的三个组成部分,装有探测系统的第一部分在水平(见图9a)方向以悬臂状被支承在一端,并相对第二部分作垂直运动第二部分相对第三部分作水平运动第三部分相对机座作水平运动，并在其上安装工件.一种补充的测量机结构是在机座上轴线为垂直的转台,工件装在转台上 测量机主机结构特点n移动工作台水平悬臂式有沿着相互正交的导轨而运动的三个组成部分,装有探测系统的第一部分在水平方向以悬臂状被支承在一端,第一部分装在第二部分上并相对其作垂直运动第一、第二部分的总成和第三部分相对机座作水平运动,工件装在第三部分上测量机主机活动桥式测量机 1构成及功能n工作台:摆放夹具及零件支撑桥架早期一般是由铸铁或铸钢制成的现广泛采用花岗石(变形小、稳定性好、耐磨损、不生锈，且价格低廉、易于加工)有些装有可升降的工作台，以扩大Z轴的测量范围有些备有旋转工作台，以扩大测量功能测量机主机活动桥式测量机 2构成及功能n桥架:测量机主机的重要组成部分,由主、附腿和横梁、滑架等组成。
桥架的驱动部分和光栅基本都在主腿一侧，附腿主要起辅助支撑的作用滑架，使横梁与有平衡装置的Z轴连接，滑架上有两轴的全部气浮块和光栅的读数头、分气座气浮块和读数头直接影响测量机精度，不允许调整测量机主机活动桥式测量机 2构成及功能n导轨:是气浮块运动的轨道，测量机的基准之一，应避免对导轨的磕碰，定期清洁导轨(压缩空气中的油水及空气中的灰尘会污染导轨，影响测量精度)导轨是测量机的导向装置，直接影响测量机的精度，因而要求其具有较高的直线性精度在三坐标测量机上使用的导轨有滑动导轨、滚动导轨和气浮导轨，常用的为滑动导轨和气浮导轨滚动导轨应用较少，因为滚动导轨的耐磨性较差，刚度也较滑动导轨低早期的三坐标，许多机型采用的是滑动导轨滑动导轨精度高，承载能力强，但摩擦阻力大，易磨损，低速运行时易产生爬行，也不易在高速下运行，目前，多数三坐标测量机已采用空气静压导轨（又称为气浮导轨、气垫导轨），它具有许多优点，如制造简单、精度高、摩擦力极小、工作平稳等测量机主机活动桥式测量机 2构成及功能n导轨:目前不少生产厂在寻找高强度轻型材料作为导轨材料，有些生产厂已选用陶瓷或高膜量的碳素纤维作为移动桥架和横梁上运动部件的材料。
另外，为了加速热传导，减少热变形，ZEISS公司采用带涂层的抗时效合金来制造导轨，使其时效变形极小且使其各部分的温度更加趋于均匀一致，从而使整机的测量精度得到了提高，而对环境温度的要求却又可以放宽些测量机主机活动桥式测量机 2构成及功能n气浮导轨测量机主机活动桥式测量机 2构成及功能n气浮导轨：其结构中有六个气垫（水平面四个，侧面两个），使得整个桥架浮起滚轮受压缩弹簧的压力作用而与导向块紧贴，由弹簧力保证侧向气垫在工作状态下与导轨导向面之间的间隙（纵向由重力保证）当桥架移动时，若产生扭动，则使气垫与导轨面之间的间隙量发生变化，其压力也随之变化，从而造成瞬时的不平衡状态，但在弹簧力的作用下会重新达到平衡，使之稳定地保持10m的间隙量，以保证桥架的运动精度气浮导轨的进气压力一般为36个大气压，要求有稳压装置测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统(光栅、读数头、零位片):是测量机的测长基准光栅是刻有细密等距离刻线的金属或玻璃，读数头使用光学的方法读取这些刻线计算长度另外，在光栅尺座预置有温度传感器，便于有温度补偿功能的系统进行自动温度补偿零位片的作用是使测量机找到机器零点(机器零点是机器坐标系的原点，是测量机误差补偿和测量机行程最终控制的基准)。
光栅尺和读数头结合读取数据光栅尺和读数头都是光学原理的器件，有明暗格变测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统(标尺系统)：是三坐标测量机的关键组成部分，用来度量各轴的坐标数值，决定三坐标测量精度的高低三坐标测量机上使用的标尺系统种类很多，一般都采用自动发出信号的数字式连续位移系统，它们与在各种机床和仪器上使用的标尺系统大致相同，按其性质可以分为机械式标尺系统（如精密丝杠加微分鼓轮，精密齿条及齿轮，滚动直尺）、光学式标尺系统（如光学读数刻线尺，光学编码器，光栅，激光干涉仪）和电气式标尺系统（如感应同步器，磁栅）根据对国内外生产CMM所使用的标尺系统的统计分析可知，使用最多的是光栅，其次是感应同步器和光学编码器有些高精度CMM的标尺系统采用了激光干涉仪测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统(标尺系统)光栅测量系统(光栅尺结构)Scale光线发射部分光线接收部分Scale head测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统(标尺系统)光栅测量系统(光栅尺结构)ScaleScale headScale的明格Scale head的明格Scale的暗格Scale head的暗格测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统(标尺系统)光栅测量系统(光栅尺结构)r当Scale head的阴影部分和Scale的阴影部分重合时，达到下图所示的最亮点，当正好错开一格时，为如图所示的最暗点。
如果，光栅尺，它的最小间隔为0.02mm，即：一个周期为：0.02mmr注意：注意：将最小的间隔划分为多少份，就是CMM中分辨率的概念，如：将最间隔划分为100等份的话，其分辨率为：0.02mm/100=0.0002mm=0.2um再比如，我们公司某类产品可达到0.5um的精度，那么它是将最小间隔0.02mm划分成了40等份，即：0.2mm/40=0.0005mm=0.5um测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统(标尺系统)光栅测量系统(光栅尺结构)最亮点最暗点0.02 mm测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统(标尺系统)光栅测量系统测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统(标尺系统)光栅测量系统：光栅测量系统由标尺光栅(即主光栅)和指示光栅(读数头)组成，它利用了莫尔条纹原理来检测移动的坐标值长光栅一般安装在三坐标测量机的导轨上，指示光栅安装在与导轨作相对运动的部位金属标尺光栅多是在表面镀金的金属基体上采用光刻的方法制成的每毫米50线的不锈钢光栅尺，即在20微米的长度上有一条明条纹和一条暗条纹当标尺光栅与指示光栅相对运动为x(mm)时，光栅尺上的明暗条纹就要移过50 x条，把光栅尺上移过的条纹数目用光电元件接收后转换成电信号，送入电路，最后以数字的形式把移动的坐标值显示出来。
光栅测量系统在三坐标测量机中应用较多，是因为光栅尺体积小，容易制造，安装比较方便，测量精度高，所得到的光电信号容易细分但光栅尺怕油污和灰尘，需要一个清洁的工作环境测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统感应同步器测量系统测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n光栅系统感应同步器测量系统：感应同步器式测量系统的检测元件是一对上面具有平面绕阻的定尺和动尺，当它们相对运动时，利用磁感应原理进行位移测量使用时一般将定尺安装在固定不动的部件上将动尺安装在移动的部件上定尺和动尺通常都用钢板做基体，用绝缘粘结剂把铜箔粘在钢板做成的基体上，用照像腐蚀的方法，制成方齿形平面绕阻其重要的优点是不怕灰尘和油污，因此对环境的适应性强，能在普通车间条件下进行工作测量机主机活动桥式测量机 3测量系统（坐标测量读数标准器）n电类：感应同步器、磁栅式，编码器n光学类：激光干涉仪，精密光栅尺n机械类：刻线标尺，精密丝杠，精密齿条测量机主机活动桥式测量机 3构成及功能n驱动系统(直流伺服电机、减速器、传动带、带轮等):其状态会影响控制系统的参数，不能随便调整测量机主机活动桥式测量机 4构成及功能n空气轴承气路系统(过滤器、开关、传感器、气浮块、气管):空气轴承(气浮块)是测量机的重要部件，主要功能是保持测量机的各运动轴相互无摩擦(由于气浮块的浮起高度有限且气孔很小，要求压缩空气压力稳定且其中不能含有杂质、油、水)。
过滤器系统是气路中的最后一道关卡，包括了前置过滤器和管道空气开关和空气传感器连接在气路中，具有保护功能，不能随意调整测量机主机活动桥式测量机 4构成及功能n空气轴承（Air bearing）n空气轴承一般用空气压缩机供气，气压一般在2 2.5kg.f/cm 之间根据使用目的、功能、环境等的不同，可以对Air bearing进行大小、尺寸、形状等的设计由于CMM型号的不同，所使用的Air bearing的尺寸也不同，从而所使用的气压大小也是不同的一般，气压尽量控制在4kg.f/cm 以内n需要注意的是：需要注意的是：空气轴承在通气后与底板滑道之间会形成一个35的气垫特别注意：特别注意：Air bearing与滑道的加工精度很高，充气后的间距非常的小，滑道对卫生要求非常高，所以一定要保持滑道部分的清洁在每次用完CMM后最好用酒精擦一下滑道部分还要注意，当酒精挥发完以后再使用CMM测量机主机活动桥式测量机 4构成及功能n空气轴承（Air bearing）Air bearing进空气进空气出空气出空气10测量机主机活动桥式测量机 5构成及功能n支承架、随动带:小型测量机采用支架支撑测量机工作台，中、大型测量机一般采用千斤顶，都采用三点支撑三坐标测量机组成测量机主机2按测量范围分类n小型：X轴（短轴）300 mm 测头、测座品牌介绍TESA 4.2TESASTAR-sm自动分度测头nTesastar-sm测座底部为TESA的TKJ接口，支持扫描和触发测头n其通过TMA转接和M8螺纹的触发测头或者其它附件连接，也可直接连接LSP-X1连续扫描测头n测座的80规格，应用于边长80mm的Z轴；65规格，应用于边长65mm的Z轴nTesastar-sm测座和Tesastar-m测座的技术指标完全一致，sm系列的测座因为特殊设计，安装时部分结构可深入Z轴内部，因而在Z向行程上相应增大了有效测量空间测头、测座品牌介绍TESA 4.2。
TESASTAR-m 自动旋转测座 该测座能够快速分度，相对同类产品速度快自动测座，以5增量进行分度，+180到-180进行旋转，+90到-115进行俯仰，可达到2,952个空间位置，并包括由于分度座不对称而产生的一个“平齐台面”90水平位置该测座能够快速分度，相对同类产品速度要快结构牢固，能够携带超过300mm 的加长杆；并支持包括TESA测头在内的多种触发式测头测头、测座品牌介绍TESA 4.2TESASTAR-m 自动旋转测座 该测座能够快速分度，相对同类产品速度快自动测座，以5增量进行分度，+180到-180进行旋转，+90到-115进行俯仰，可达到2,952个空间位置，并包括由于分度座不对称而产生的一个“平齐台面”90水平位置该测座能够快速分度，相对同类产品速度要快结构牢固，能够携带超过300mm 的加长杆；并支持包括TESA测头在内的多种触发式测头测头、测座品牌介绍TESA 4.2TESASTAR-m M8 机动旋转测座 能够兼容任何一款相匹配的测头TESASTAR-m M8 的性能指标类似于TESASTAR-m，但是它本身自带一个M8转接座，能够兼容任何一款相匹配的测头测头、测座品牌介绍TESA 4.2。
TESASTAR-i M8 机动旋转测座 自带一个M8转接座，能够兼容任何一款相匹配的测头TESASTAR-i M8 的性能指标类似于TESASTAR-i，但它不是一个一体式测头系统它本身自带一个M8转接座，能够兼容任何一款相匹配的测头测头、测座品牌介绍TESA 4.2TESASTAR 手动旋转测头，手动探测系统，集测座和测头为一体，是小型手动测量机的理想配置关节式测座，可手动旋转无限数量、非重复的角度方位内置紧凑的触发式测头，其测力可根据需要进行调整是小型测量机的理想配置测头、测座品牌介绍TESA 4.2TESASTAR-i 手动分度测头 两方向自由度的可重复分度测座，内置高精度触发式测头两方向自由度的可重复分度测座，内置高精度触发式测头每个轴以15为分度旋转，允许在测量空间的168 个位置进行定位，而不需要重新校准角度信息可以清晰读取，位置间的分度非常容易，单手就可完成操作；并具备视觉的反馈信号帮助操作者判断测头是否可以进行测量测头、测座品牌介绍TESA 4.2TESASTAR-p触发式测头 全系列高精度全方位的触发式测头测头、测座品牌介绍TESA 4.2 TESASTAR-mp带磁力吸盘测头 由测头体和探针吸盘两部分组成，通过高重复性的均衡磁吸装置连接。
TESASTAR-mp 是一款新型的触发式测头，由测头体和探针吸盘两部分组成，通过高重复性的均衡磁吸装置连接它的一个显著特点是无需重复校验就可手动或自动更换探针吸盘该测头具有四种触发力可选，提供从0.055 N 到0.10N 之间不同的标定探测力测头、测座品牌介绍Renishaw 1手动测座nMH20i：适用于TP20测针模块的可重复定位测座 nMH20：适用于TP20测针模块的定位测座 nMH8：适用于M8螺纹固定测头的可重复定位测座 nMIH(S)：具有内置LCD位置显示器的可重复定位测座 nPH1：具有偏置测头底座的定位测座 nPH5/1：具有五个测头插槽和B轴转位的固定式测座 nPH5：具有五个测头插槽的固定式测座 nH6：具有一个测头插槽的固定式测座 nPH6M：具有自动铰接的固定式测座测头、测座品牌介绍Renishaw 2机动和自动测座(可重复定位测座)nPH10nPH10M(有轴套式安装和测头式安装两种选项)nPH10MQ(有轴套式安装和测头式安装两种选项)nPH10T(有轴套式安装和测头式安装两种选项)nPHS1伺服测座(伺服定位测座可实现无级定位 测座和交换架控制器：测座、交换架和坐标测量机之间的接口)测头、测座品牌介绍Renishaw 3测头传感器(触发式)nTP20：具有模块交换功能的紧凑型机械式测头 nTP200：具有模块交换功能的紧凑型应变片式测头 nTP6(A)：具有M8和自动铰接固定选项的坚固机械式测头 nTP7M：具有自动铰接的应变片式测头 nOTP6M：用于检测软材料的光学触发式测头nTP2，传统触发式测头nTP1S(M)，传统触发式测头测头、测座品牌介绍Renishaw 4测头传感器(扫描式)nSP25M：具有扫描和触发式模块的25 mm直径扫描测头 nSP600：高性能检测、数字化和轮廓扫描nSP80：轴套安装式扫描测头，用长测针提供一流的性能维修 测头、测座品牌介绍Renishaw 4MIP手动分度触发式测头n是一个简洁的组合测头测座系统。
具备168个可重复测头位置,避免了由于测头位置变换过程中的测头重新校正工作测头探测力可调,可使用长达60mm的探针通过杆固定,使得测头与测量机形成一个整体nMIP测头特点-将测头与测座整合为一个紧凑的整体-15度进位-高重复性动态定位,避免了在不同位置变换中的测头校正-整体牢固可靠-采用杆固定方式 测头、测座品牌介绍Renishaw 4TP20触发式测头n属于动态触发式测头由测头本体和可分离测头吸盘两部分组成，在不需要重新修正的情况下，就可完成对探针配置的变换nTP20可实现对于现有TP2测头的应用升级，使得无论是手动还是数控测量机，均可具备探针更换功能nTP20测头系统主要由两部分组成：TP20触发式测头和吸盘 n能够为手动和数控测量机提供探针更换功能n可实现TP2测头的升级,可实现五方向操作n通过快速自动或手动更换探针而缩短检测周期n具备标准测力、小测力、大测力三种吸盘nMCR20吸盘更换支架(选项):专为可靠地固定测头更换吸盘而设计,能够实现测头吸盘自动更换,并避免了在工作空间的空气污染测头、测座品牌介绍Renishaw 4TP200高精度触发式测头n包含有微力传感器，具备优异的测量重复性和精确的空间形状测量精度。
即使是在携带长探针的情况下TP200测头，具备超微触发技术，避免了传统测头常会出现的拖动情况内置ASIC电路，保证了上百万次的可靠操作nTP200测头系统主要由以下四部分构成TP200触发式测头标准测量或低测力探针吸盘PI200测头控制器SCR200探针更换架,能够实现快速、自动的探针更换而无需重新校正nTP200的特点：优异的重复性,精确的三维形状测量,探针长度可达到100mm,吸盘的寿命达到上百万次,尺寸紧凑,与RENISHAW全系列测座和附件兼容测头、测座品牌介绍Renishaw 4TP7M高精度触发式测头 nTP7M采用应变片技术，较传统的触发式测头具有更高的精度采用自动连接，从而为数控测量机提供了自动更换功能nTP7M测头的特点：-良好的精度和重复性-探针长度可达到150mm-六方向感应-自动更换功能 测头、测座品牌介绍Renishaw 4n Renishaw系列扫描测头都属于被动式测头，具有机械装置重量轻和与光学计量系统隔离的特点，从而可实现快速而又精确的扫描测头、测座品牌介绍Renishaw 4SP80模拟扫描测头（接触式）n在SP600家族的被动式扫描技术的基础上，采用数字式读数头，从而具备超高测量精度。
固定在坐标测量机的主轴上，SP80能够携带长达500mm的探针，同时仍然具备良好的测量性能n能携带重量达到500g,并具有星形探针配置动态探针更换装置,能重复定位探针,以便于具有合适的探针配置以完成特定检测特征的检测n产品特点-能直接固定在测量机主轴上-在扫描和点到点模式下具有超高精度-能够携带长探针-具有动态的探针更换功能-可分离探针吸盘具有XY碰撞保护功能，Z向具有碰撞紧急停设置-被动式机械设计(无电机)，提高了热稳定性和可靠性-机械惯性小，具有良好的动态响应测头、测座品牌介绍Renishaw 4SP25M扫描测头(接触式）n采用创新性的Renscan技术,具有极大的灵活性的同时保持了良好的扫描性能SP25M集两种测头为一身,可通过扫描进行形状的评价,同时通过触发测量,完成尺寸和位置的测量n凭借25mm的直径,SP25M能固定在机械式关节测座PH10M,并可配备PEM系列加长杆,从而能够触测到较深的特征n具有一整套内部可更换扫描测头模块,能够连接从20mm到 200mm长的探针同所有的RENISAHW扫描测头一样,其具有动态探针更换功能以及碰撞保护功能n更大的灵活性还表现在SP25M模块化的设计,允许Renishaw TP20测头能够连接以执行触发测量,从而可使用在不需要扫描和进行离散点的采集的场合下测头、测座品牌介绍Renishaw 4SCANWORKS V4i激光扫描头(非接触式）n扫描可以快速而精确地产生关于一个物体的数字化表示。
所产生的文件是代表了物体表面和特性的点云从而可完成逆向工程的应用、检测，CAD 模型比较、造型以及其他更多的应用ScanWorks 激光扫描系统，在合理价格的基础上，聚焦于精度、速度和灵活性，从而使得用户能够从最初的设计一直到最终检测都能够从中受益nScanWorks 三维激光扫描系统采用非接触的激光扫描技术，通过线扫描的方式提高了数据采集率每秒钟采集数据点可高达23000 点，在不损失精度的情况下，ScanWorks 简化了复杂的测量任务同时由于无活动部件，使得可靠性和性能更好n性能指标：每秒种采集2304 个点;每秒钟发出多达30 条激光束，每个激光束768 点;逃逸距离：104 mm;精度：小于50微米，3 sigman外型尺寸：105 x 52 x 90 mm测头、测座品牌介绍Renishaw 4LC系列光学扫描测头nMETRIS公司LC系列光学扫描测头能够方便地整合在测量系统中n创新性的设计，能够与Renishaw PH10测座连接，并可使用Renishaw测头更换架，自动程度更强-将测量机的精度、激光扫描的速度和PH10定位的灵活性集于一身-采用最新激光扫描技术-每秒钟可以采集19200个点-直接将测量结果导入到Metris软件中n METRIS的LC光学扫描测头，可固定在Renishaw PH10M机动测座上。
利用LC测头，三轴的测量机可变成5轴的光学数字化系统并采用光学三角法作为其测量原理nLC光学测头以用非常快的速度对您的物理原型工件进行密集数字化复制，或者是完成特定区域和特征进行测量三坐标测量机组成计算机系统n组成n功能计算机(测量软件)系统组成n编程软件n测量软件包n系统调试软件n系统工作软件nNeuroMeasure(NM):通用测量软件nNeuroSurf(NS):曲面测量软件nNeuroChart(NC):对测量数据统计、分析、报告等nNeuroCAD(NCAD):模拟测量nNeuroView(NView):非接触CCD测量计算机(测量软件)系统组成编程软件(编制测量程序方式)n图示及窗口编程方式:是最简单的方式,它是通过图形菜单选择被测元素,建立坐标系,并通过“窗口”提示选择操作过程及输入参数,编制测量程序该方式仅适用于比较简单的单项几何元素测量的程序编制n自学习编程方式:这种编程方式是在CNC测量机上，由操作者引导测量过程，并键入相应指令，直到完成测量，而由计算机自动记录下操作者手动操作的过程及相关信息，并自动生成相应的测量程序，若要重复测量同种零件，只需调用该测量程序，便可自动完成以前记录的全部测量过程。
该方式适合于批量检测，也属于比较简单的编程方式计算机(测量软件)系统组成编程软件(编制测量程序方式)n脱机编程:这种方式是采用三坐标测量机生产厂家提供的专用测量机语言在其它通用计算机上预先编制好测量程序,它与坐标测量机的开启无关编制好程序后再到测量机上试运行,若发现错误则进行修改其优点是能解决很复杂的测量工作,缺点是容易出错n自动编程:在计算机集成制造系统中,通常由CAD/CAM系统自动生成测量程序三坐标测量机一方面读取由CAD系统生成的设计图纸数据文件,自动构造虚拟工件,并根据虚拟工件自动生成测量路径,另一方面接受由CAM加工出的实际工件,实现无人自动测量这一过程中的测量程序是完全由系统自动生成的计算机(测量软件)系统组成测量软件包n可含有许多种类的数据处理程序，以满足各种工程需要一般将三坐标测量机的测量软件包分为通用测量软件包和专用测量软件包通用测量软件包主要是指针对点、线、面、圆、圆柱、圆锥、球等基本几何元素及其形位误差、相互关系进行测量的软件包通常各三坐标测量机都配置有这类软件包专用测量软件包是指坐标测量机生产厂家为了提高对一些特定测量对象进行测量的测量效率和测量精度而开发的各类测量软件包。
如有不少三坐标测量机配备有针对齿轮、凸轮与凸轮轴、螺纹、曲线、曲面等常见零件和表面测量的专用测量软件包在有的测量机中，还配备有测量汽车车身、发动机叶片等零件的专用测量软件包计算机(测量软件)系统组成系统调试软件(调试测量机及控制系统)n自检及故障分析软件包：用于检查系统故障并自动显示故障类别n误差补偿软件包：用于对三坐标测量机的几何误差进行检测，在三坐标测量机工作时，按检测结果对测量机误差进行修正n系统参数识别及控制参数优化软件包：用于CMM控制系统的总调试，并生成具有优化参数的用户运行文件n精度测试及验收测量软件包：用于按验收标准测量检具计算机(测量软件)系统组成系统工作软件(协调和辅助测量机及控制系统)n测头管理软件:用于测头校准、测头旋转控制等n数控运行软件:用于测头运动控制n系统监控软件:用于对系统进行监控(监控电源、气源等)n编译系统软件:用此程序编译，生成运行目标码nDMIS接口软件:用于翻译DMIS格式文件n数据文件管理软件:用于各类文件管理n联网通讯软件:用于与其他计算机实现双向或单向通讯计算机(测量软件)系统功能n对控制系统进行参数设置n进行测头定义和测头校正,及测针头半径补偿,把不同测头角度测点的坐标都转换到“基准”测头位置n建立坐标系(零件找正)n对测量数据进行计算和统计、处理n编程并将运动位置和触测控制通知控制系统n输出测量报告n保存、传输测量数据到指定网路或计算机三坐标测量机三坐标测量机的使用n操作盒的使用n测量机系统的启动与关闭CMM使用操作盒的使用n操作盒类型n操作盒按键n操作盒按键说明操作盒的使用操作盒类型1加电键删除键移动点自动按键（机器自动测量时要按亮）手动模式键（手动测量时要按亮）生成（Done）键操作盒的使用操作盒类型11.Servo PWR ON 马达开启键马达开启键2.E-stop 紧急停止键紧急停止键3.3、Joystick 方向操纵杆方向操纵杆4.4、Record 记录数据记录数据5.5、Drive 记录路径记录路径6.6、X/Y/Z LOCK X/Y/Z 轴锁轴锁定定7.7、SLOW 慢速运行慢速运行8.8、PART 灯亮灯亮后，后，CMM按按照照 9.工作座标系移动工作座标系移动10.9、JOY 手动模式手动模式11.10、AUTO 自动模式自动模式12.11、SERVO POWER OFF 马达关闭键马达关闭键13.12、RTN TO SCREEN 返回返回操作操作键键14.13、SERVO READY 马达断电马达断电指示指示15.14、SERVO PWR ON 马达马达通电通电指示指示操作盒的使用操作盒类型2 JOGMODE：操纵杆工作模式：操纵杆工作模式A：PROBE：此按键灯亮，测量机按测头方向移动。
B：PART：此键灯亮，测量机按工件坐标系移动C：MACH：此键灯亮，测量机按机器坐标系移动SLOW：灯亮时慢速触测状态，灯灭时快速运动状态触测零件时应保持慢速触测状态 ENABLE：用手操杆测量时，需同时按住此键，操纵杆有效，测量机才能移动PRINT：编程时加MOVE 点按键X、Y、Z：X、Y、Z 轴指示灯，灯灭，轴锁定轴指示灯，灯灭，轴锁定PROBE ENABLE(1)当此按键灯灭时，测头保护的功能有效，但不记录测需要正常测点时，将灯按亮点需要正常测点时，灯亮(2)测头平衡，模拟测头紧急停止，保护MACH START：测量机驱动加电按键灯亮时测量机才能运动出现任何保护时，灯灭DEL PNT：删除DONE 之前的测点RUN/HODE：灯灭时，程序暂停（HOLD 状态）；灯亮，程序继续运行（RUN 状态）运行速度调整操作盒的使用操作盒按键nJOGMODEnSLOW nSHIFTnPROBE ENABLE nLOCK/UNLOCKnSTOP nRUN/HODEnDEL PNT nDONEnX、Y、ZnPRINTnDONE nFEED RATE OVERRIDE nENABLEnMACH START 操作盒的使用操作盒按键说明1nJOGMODE：操纵杆工作模式 PROBE:此按键灯亮时,测量机按测头方向移动PART:此按键灯亮时,测量机按工件坐标系移动MACH:此按键灯亮时,测量机按机器坐标系移动操作盒的使用操作盒按键说明2nSLOW：慢速触测状态键 测头运动方式转换按钮:灯亮时慢速触测状态,即采样运动方式,灯灭时快速运动状态,即接近运动方式。
触测零件时必须保持慢速触测状态,否则测头接触到工件时有可能不立即停止而损坏测头操纵盒“SLOW”指示灯成灭的状态，又称为阻尼状态；若“SLOW”指示灯亮，测量机容易出现空采点现象；在测量时，需在慢速状态下，即“SLOW”指示灯成亮的状态进行测量如果进行手动测量，注意操纵盒是否处于阻尼状态操作盒的使用操作盒按键说明3nSHIFT：相当于键盘的SHIFT作用SHIFT 按键灯亮,(RUN/HODE、LOCK/UNLOCK)按键下面的功能有效操作盒的使用操作盒按键说明4nPROBE ENABLE：测头状态键(补偿键)当此按键灯灭时,测头保护的功能有效,但不记录测点此功能可以用于易出现误测点场合,当需要屏蔽误测点时,将此键按下使灯灭,误测点不被接受需要正常测点时,将灯按亮正常工作时,必须确保此键灯亮记录触测点开关键:灯亮时为打开触测记录,反之为关闭触侧记录,在运动方式时可防止测头误发信操作盒的使用操作盒按键说明5nLOCK/UNLOCK仅用于带有轴锁定系统的老机器操作盒的使用操作盒按键说明6nSTOP紧急停止键操作盒的使用操作盒按键说明7nRUN/HODE 灯灭时，程序暂停（HOLD 状态）；灯亮，程序继续运行（RUN 状态）操作盒的使用操作盒按键说明8nDEL PNT 删除 DONE 之前的测点操作盒的使用操作盒按键说明9nX、Y、Z X、Y、Z 轴指示灯，灯灭，轴锁定。
一般测量时,此三键应灯亮 操作盒的使用操作盒按键说明10nPRINT编程时加 MOVE 点按键操作盒的使用操作盒按键说明11nDONE确认键或者执行键(相当于键盘“回车”键)操作盒的使用操作盒按键说明12nFEED RATE OVERRIDE 运行速度百分比指示键:对手动及自动方式的接近运动和采样运动均有效,保证了手动操作速度的一致性和测量结果的准确性对小孔或小槽测量非常有用 操作盒的使用操作盒按键说明13nENABLE(组合键)用手操杆测量时，需同时按住此键，操纵杆有效，测量机才能移动 操作盒的使用操作盒按键说明14nMACH START 测量机驱动加电按键灯亮时测量机才能运动出现任何保护时，灯灭 CMM使用CMM的启动与关闭n测量机启动前的准备 n测量机系统启动 n测量机系统关闭 三坐标测量机的使用三坐标测量机的启动与关闭n测量机启动前的准备 检查机器的外观及机器导轨是否有。